| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 太赫兹波的特点及应用 | 第9页 |
| 1.2 太赫兹频段滤波器的研究方向 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外发展动态 | 第10-14页 |
| 1.4 本课题主要工作及技术指标 | 第14-16页 |
| 第二章 滤波器的基本理论 | 第16-25页 |
| 2.1 波导滤波器概述 | 第16-17页 |
| 2.2 滤波器的响应方式及选取 | 第17-19页 |
| 2.3 耦合系数的定义 | 第19-22页 |
| 2.4 交叉耦合的功能 | 第22-23页 |
| 2.5 滤波器的主要技术指标 | 第23-25页 |
| 第三章 直接耦合与交叉耦合滤波器的设计 | 第25-42页 |
| 3.1 三阶切比雪夫滤波器设计 | 第25-31页 |
| 3.2 三阶交叉耦合滤波器设计 | 第31-41页 |
| 3.2.1 CT型带通滤波器方案设计 | 第31-34页 |
| 3.2.2 多层结构CT型带通滤波器模型方案设计 | 第34-37页 |
| 3.2.3 多层结构CT型带通滤波器模型方案误差分析 | 第37-41页 |
| 3.3 本章小节 | 第41-42页 |
| 第四章 一腔多模滤波器设计方案 | 第42-60页 |
| 4.1 矩形波导理论分析 | 第42-44页 |
| 4.2 一腔多模理论分析 | 第44-46页 |
| 4.2.1 微绕理论分析 | 第44-46页 |
| 4.2.2 耦合方块与耦合螺钉的优劣 | 第46页 |
| 4.3 相邻腔体的耦合方式 | 第46-48页 |
| 4.3.1 十字膜片交叉膜片 | 第46-47页 |
| 4.3.2 凋落模波导 | 第47-48页 |
| 4.4 TM模双模滤波器 | 第48-59页 |
| 4.4.1 TM模双模滤波器单腔设计 | 第49-50页 |
| 4.4.2 输入输出波导位置对传输零点的影响 | 第50-54页 |
| 4.4.3 输入输出波导及耦合方块尺寸对通带的影响 | 第54-55页 |
| 4.4.4 相邻腔体耦合 | 第55-56页 |
| 4.4.5 仿真设计 | 第56-59页 |
| 4.5 本章小节 | 第59-60页 |
| 第五章 滤波器的加工及测试 | 第60-67页 |
| 5.1 太赫兹器件加工工艺简介 | 第60-62页 |
| 5.1.1 MEMS加工工艺 | 第60-61页 |
| 5.1.2 紫外光刻（SU-8）技术 | 第61-62页 |
| 5.1.3 LIGA技术 | 第62页 |
| 5.2 滤波器样品验证加工 | 第62-63页 |
| 5.3 滤波器样品测试 | 第63-67页 |
| 5.3.1 多层结构CT型 10GHz带通滤波器样品 | 第64-65页 |
| 5.3.2 10GHz TM模2腔 4 模滤波器样品 | 第65-67页 |
| 总结与展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
