基于声表面波器件的微流控生物检测技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 SAW生物传感检测研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 SAW生物传感器国内外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 SAW器件检测手段研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.3 SAW生物传感器流控系统研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本文主要内容 | 第15-17页 |
| 2 SAW生物传感器相关理论 | 第17-24页 |
| 2.1 SAW传感器结构 | 第17-18页 |
| 2.2 Love波基本理论 | 第18-20页 |
| 2.3 传感理论 | 第20-22页 |
| 2.4 温度效应理论 | 第22-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 SAW生物传感器设计与制作 | 第24-42页 |
| 3.1 SAW传感器设计 | 第24-31页 |
| 3.1.1 传感器基底材料选择 | 第24-26页 |
| 3.1.2 IDT设计 | 第26-28页 |
| 3.1.3 传感器波导层设计 | 第28-31页 |
| 3.2 SAW传感器制作 | 第31-40页 |
| 3.2.1 备片 | 第31-32页 |
| 3.2.2 IDT加工 | 第32-36页 |
| 3.2.3 SiO_2镀膜 | 第36页 |
| 3.2.4 沉金 | 第36-38页 |
| 3.2.5 电极剥离 | 第38-39页 |
| 3.2.6 键合封装 | 第39-40页 |
| 3.3 器件特性测试 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 SAW生物传感器测试系统设计 | 第42-72页 |
| 4.1 振荡检测电路设计 | 第42-51页 |
| 4.1.1 自激振荡检测原理 | 第42-43页 |
| 4.1.2 自激振荡电路设计 | 第43-48页 |
| 4.1.3 PCB设计 | 第48-49页 |
| 4.1.4 电路性能测试 | 第49-51页 |
| 4.2 基于DDS的扫频检测电路设计 | 第51-69页 |
| 4.2.1 扫频检测原理 | 第51-55页 |
| 4.2.2 扫频检测电路设计 | 第55-62页 |
| 4.2.3 PCB设计 | 第62-64页 |
| 4.2.4 软件设计 | 第64-66页 |
| 4.2.5 电路性能测试 | 第66-69页 |
| 4.3 点频激励相位检测电路 | 第69-71页 |
| 4.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 5 SAW生物传感器进样系统设计 | 第72-80页 |
| 5.1 流控进样系统 | 第72-73页 |
| 5.2 PDMS微流反应池设计 | 第73-75页 |
| 5.2.1 芯片外形设计 | 第73-74页 |
| 5.2.2 流场分布有限元分析 | 第74-75页 |
| 5.3 微流反应池制作与键合 | 第75-78页 |
| 5.3.1 PDMS微流芯片制作 | 第75-77页 |
| 5.3.2 PDMS微流反应池键合 | 第77页 |
| 5.3.3 PDMS反应池器件表面结合测试 | 第77-78页 |
| 5.4 本章小结 | 第78-80页 |
| 6 SAW生物传感器实验与分析 | 第80-89页 |
| 6.1 SAW生物传感器温度实验 | 第80-82页 |
| 6.2 SAW生物传感器插损实验 | 第82-83页 |
| 6.3 SAW生物传感器生物实验 | 第83-88页 |
| 6.3.1 PSA蛋白检测 | 第83-85页 |
| 6.3.2 CEA蛋白检测 | 第85-88页 |
| 6.4 本章小结 | 第88-89页 |
| 7 总结与展望 | 第89-92页 |
| 7.1 课题总结 | 第89-90页 |
| 7.2 课题展望 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-100页 |
| 附录 | 第100页 |
