| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第13页 |
| 1.2 半导体生产工艺描述 | 第13-15页 |
| 1.3 半导体制造系统特性 | 第15-16页 |
| 1.4 半导体生产线关键参数预测研究现状 | 第16-21页 |
| 1.4.1 成品率研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4.2 产出率研究现状 | 第19-20页 |
| 1.4.3 在制品研究现状 | 第20-21页 |
| 1.5 论文结构安排 | 第21-23页 |
| 第二章 基于多智能体模糊协同的半导体成品率预测方法 | 第23-45页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 多智能体模糊协同预测模型 | 第23-31页 |
| 2.2.1 成品率学习模型 | 第24-25页 |
| 2.2.2 学习模型参数求解 | 第25-28页 |
| 2.2.3 模糊聚合 | 第28-30页 |
| 2.2.4 SVR逆模糊化 | 第30-31页 |
| 2.3 仿真实验与分析 | 第31-42页 |
| 2.3.1 预测范围分析 | 第32-36页 |
| 2.3.2 预测性能分析 | 第36-42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-45页 |
| 第三章 基于数学规划与BPN相融合的半导体产出率预测方法 | 第45-57页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 产出率预测模型 | 第45-51页 |
| 3.2.1 多元线性回归模型 | 第46页 |
| 3.2.2 线性规划模型求解预测范围 | 第46-48页 |
| 3.2.3 BP神经网络初始化 | 第48-49页 |
| 3.2.4 BP网络参数调整 | 第49-51页 |
| 3.3 仿真实验及分析 | 第51-56页 |
| 3.3.1 预测范围分析 | 第52-54页 |
| 3.3.2 预测性能分析 | 第54-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 基于回声网络的半导体在制品预测方法 | 第57-65页 |
| 4.1 引言 | 第57页 |
| 4.2 时序预测 | 第57-58页 |
| 4.3 回声状态网络预测方法 | 第58-60页 |
| 4.3.1 基本回声网络 | 第59-60页 |
| 4.3.2 泄露积分型回声网络 | 第60页 |
| 4.4 仿真结果与分析 | 第60-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 总结 | 第65页 |
| 5.2 展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第73-75页 |
| 作者和导师简介 | 第75-77页 |
| 附件 | 第77-78页 |