基于相位光栅干涉传感的位移测量系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外研究概况 | 第10-14页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 相位光栅干涉测量系统设计及分析 | 第15-33页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 光栅干涉测量原理 | 第15页 |
| 2.3 干涉光路设计与分析 | 第15-21页 |
| 2.3.1 干涉光路设计 | 第15-17页 |
| 2.3.2 多普勒效应分析 | 第17-18页 |
| 2.3.3 干涉条纹光强分布 | 第18-20页 |
| 2.3.4 干涉光路琼斯矩阵法分析 | 第20-21页 |
| 2.4 干涉条纹信号光电转换 | 第21-24页 |
| 2.5 信号调理电路设计 | 第24-30页 |
| 2.5.1 模拟信号调理电路设计 | 第24-26页 |
| 2.5.2 辨向计数电路设计 | 第26-30页 |
| 2.6 实验位移平台搭建 | 第30-32页 |
| 2.7 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 数字信号细分及误差分析 | 第33-49页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 数字信号细分及同步数据采集 | 第33-36页 |
| 3.2.1 细分方案选择 | 第33-35页 |
| 3.2.2 同步数据采集 | 第35-36页 |
| 3.3 光栅干涉信号主要误差源分析 | 第36-41页 |
| 3.3.1 光源误差分析 | 第36-37页 |
| 3.3.2 光电信号转换误差分析 | 第37-38页 |
| 3.3.3 外界环境影响分析 | 第38-39页 |
| 3.3.4 光栅误差分析 | 第39页 |
| 3.3.5 光栅偏转误差分析 | 第39-41页 |
| 3.4 干涉光路仿真 | 第41-44页 |
| 3.5 非线性误差对细分影响分析 | 第44-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 光电信号数字处理 | 第49-62页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 数字滤波器设计 | 第49-54页 |
| 4.2.1 IIR带阻滤波 | 第50-52页 |
| 4.2.2 卡尔曼滤波 | 第52-54页 |
| 4.3 基于最小二乘法的非线性误差修正 | 第54-57页 |
| 4.4 基于Labview的数字信号处理 | 第57-61页 |
| 4.4.1 非线性误差参数拟合及更新 | 第58-59页 |
| 4.4.2 数字滤波及修正计算 | 第59-60页 |
| 4.4.3 数字显示及程序控制 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 实验与分析 | 第62-70页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 分辨率测试 | 第62-64页 |
| 5.3 细分误差分析 | 第64-67页 |
| 5.4 微米级位移测试 | 第67-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
