| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·课题研究背景 | 第10-11页 |
| ·微型流量传感器的研究现状 | 第11-16页 |
| ·热式微型流量传感器 | 第11-13页 |
| ·科里奥利微型流量传感器 | 第13页 |
| ·仿生物微型流量传感器 | 第13页 |
| ·流体振动型微型流量传感器 | 第13-14页 |
| ·压差式微型流量传感器 | 第14-16页 |
| ·单面硅微机械加工工艺的研究现状 | 第16-22页 |
| ·SOI 工艺 | 第16-17页 |
| ·CLSEG 工艺 | 第17-18页 |
| ·SCREAM 工艺 | 第18-19页 |
| ·SIMPLE 工艺 | 第19-20页 |
| ·多孔硅工艺 | 第20-22页 |
| ·本课题的研究内容和研究意义 | 第22-23页 |
| ·本课题的研究内容 | 第22-23页 |
| ·本课题的研究意义 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 单芯片单面硅微机械加工技术的研究 | 第24-31页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·(111)硅片的晶向分布 | 第24-25页 |
| ·(111)硅片的湿法各项异性刻蚀特性 | 第25-29页 |
| ·释放窗口侧壁选择性保护的原理 | 第29-30页 |
| ·腔体释放窗口的封闭原理 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的设计 | 第31-47页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·单芯片单面硅微机械加工的微型流量传感器的工作原理 | 第31-32页 |
| ·单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的压力传感器设计 | 第32-43页 |
| ·压力传感器的尺寸设计 | 第32-34页 |
| ·压力传感器的压阻设计 | 第34-43页 |
| ·单芯片单面硅微机械加工的压差式流量传感器的结构设计 | 第43-46页 |
| ·A 型流量传感器的结构设计 | 第43-46页 |
| ·B 型流量传感器的结构设计 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的制造 | 第47-59页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的工艺流程 | 第47-52页 |
| ·单芯片单面硅微机械加工工艺的性能分析 | 第52-58页 |
| ·二次干法刻时释放窗口侧壁的选择性保护 | 第53-56页 |
| ·腔体释放窗口的封闭情况 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的封装与测试 | 第59-70页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的封装 | 第59-60页 |
| ·单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的测试系统 | 第60-61页 |
| ·单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的测试结果 | 第61-69页 |
| ·A 型流量传感器的测试结果 | 第62-66页 |
| ·B 型流量传感器的测试结果 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·全文总结 | 第70-71页 |
| ·研究展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第76-78页 |
