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选择性横向外延生长半极性面GaN材料及器件光电性质研究

摘要第1-7页
Abstract第7-13页
第一章 绪论第13-30页
   ·Ⅲ族氮化物LED的材料性质和器件概述第13-18页
     ·Ⅲ族氮化物材料的主要性质第13-16页
     ·Ⅲ族氮化物LED的基本原理第16-17页
     ·Ⅲ族氮化物LED效率提升的受限因素第17-18页
   ·Ⅲ族氮化物材料的选择性横向外延生长第18-22页
     ·MOCVD生长系统与生长机理第18-19页
     ·选择性横向外延生长技术第19-20页
     ·选择性横向外延生长质量输运过程第20-21页
     ·半极性面Ⅲ族氮化物材料的选择性横向外延生长研究背景第21-22页
   ·半极性面和非极性面的Ⅲ族氮化物材料与器件第22-25页
   ·论文结构和研究内容第25-27页
 参考文献第27-30页
第二章 半极性面GaN选择性横向外延生长及材料性质研究第30-59页
   ·研究意义与研究内容第30-31页
   ·半极性面GaN的选择性横向外延生长第31-45页
     ·实验过程第31-32页
     ·条形掩膜选择横向外延生长半极性面GaN研究第32-39页
     ·十字掩膜选择横向外延生长半极性面GaN研究第39-41页
     ·选择横向外延生长半极性面GaN的生长速度分析第41-45页
   ·选择横向外延生长半极性面GaN的材料性质第45-54页
     ·位错变化分析第45-49页
     ·光学性质第49-54页
   ·本章小结第54-57页
 参考文献第57-59页
第三章 半极性面InGaN/GaN多量子阱发光性质研究第59-86页
   ·研究意义与研究内容第59-60页
   ·实验过程第60-62页
   ·半极性面InGaN/GaN多量子阱的CL发光性质研究第62-72页
     ·条形掩膜上生长的半极性面InGaN/GaN多量子阱第62-66页
     ·十字掩膜上生长的半极性面InGaN/GaN多量子阱第66-72页
   ·半极性面InGaN/GaN多量子阱的PL发光性质研究第72-79页
     ·PL基本发光性质研究第72-74页
     ·变功率PL发光性质研究第74-76页
     ·变温PL发光性质研究第76-79页
   ·半极性面InGaN/GaN多量子阱极化性质第79-82页
   ·本章小结第82-84页
 参考文献第84-86页
第四章 半极性面InGaN/GaN多量子阱LED光电性质研究第86-98页
   ·研究意义与研究内容第86-87页
   ·半极性面InGaN/GaN多量子阱LED器件制备第87-91页
     ·外延生长第87-88页
     ·芯片工艺第88-91页
   ·半极性面InGaN/GaN多量子阱LED的光学性质研究第91-93页
   ·半极性面InGaN/GaN多量子阱LED的电学性质研究第93-95页
   ·本章小结第95-97页
 参考文献第97-98页
第五章 结论第98-103页
   ·论文工作总结第98-101页
   ·研究展望第101-103页
致谢第103-104页
攻读博士学位期间发表论文第104-106页
申请和授权专利第106-107页

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