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集成电路测试的温度准确及稳定性控制研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-5页
目录第5-7页
第一章 绪论第7-13页
   ·课题研究背景和意义第7-8页
   ·集成电路测试温度控制现状第8-10页
     ·半导体业内最终测试的温度控制现状第8-9页
     ·飞思卡尔半导体最终测试的温度控制现状第9-10页
   ·Solidworks Flow Simulation 软件特点和仿真优势第10-11页
     ·Flow Simulation 软件特点介绍第10-11页
     ·Flow Simulation 对流体及温度场仿真的优势第11页
   ·本文主要研究内容第11-13页
第二章 集成电路最终测试第13-24页
   ·测试系统第13-14页
   ·自动分选机第14-18页
     ·Castle Handler 的主要结构第15-16页
     ·Castle Handler 的 Change kit第16-17页
     ·Castle Handler 的温度仓设置第17-18页
     ·Castle Handler 的并行度第18页
   ·测试接口界面硬件第18-22页
     ·测试板第19-20页
     ·测试插座第20-22页
     ·其它接口硬件第22页
   ·测试系统-自动分选机-Interface 关系第22-23页
   ·测试程序第23-24页
第三章 Castle Handler 测试位温度控制的分析与研究第24-34页
   ·Castle Handler 测试位温度控制原理第24页
   ·Castle Handler 的温度校准第24-28页
   ·Castle Handler 测试位温度控制的模拟仿真第28-32页
     ·Flow Simulation 的仿真过程第28-29页
     ·Castle Handler 测试位温度控制及仿真第29-32页
   ·温度控制盖的模拟仿真及应用第32-34页
第四章 DTM 配置测试位温度控制的分析与研究第34-56页
   ·DTM 温度控制原理第34-40页
     ·Castle Handler DTM 升级第34-35页
     ·测试板连接器(Seal Adaptor)的改进第35-36页
     ·测试板改进以及 Manifold、测试插座的设计第36-38页
     ·测试板背部吹气封盖(Purge Cover)的设计第38-40页
   ·Castle DTM 测试位温度的校准第40-42页
   ·DTM 配置的温度模拟仿真第42-48页
     ·DTM 配置流场分析及改进第42-45页
     ·DTM 配置温度场分析及改进第45-48页
   ·温度模拟仿真对测试板设计的意义第48-50页
   ·流体模拟仿真对其它测试硬件设计的意义第50-52页
   ·更高温度要求时的解决方案第52-56页
第五章 结论与展望第56-57页
   ·结论第56页
   ·展望第56-57页
参考文献第57-60页
发表论文和参加科研情况说明第60-61页
致谢第61页

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