| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·研究背景 | 第10-15页 |
| ·集束型设备 | 第11-12页 |
| ·晶圆传输机器人的发展历程与研究现状 | 第12-15页 |
| ·机器人轨迹规划研究现状 | 第15页 |
| ·虚拟样机技术 | 第15-17页 |
| ·论文的主要内容 | 第17-18页 |
| 第二章 洁净晶圆传输机器人运动学与动力学建模 | 第18-33页 |
| ·洁净晶圆传输机器人物理模型 | 第18-20页 |
| ·洁净晶圆传输机器人运动学模型 | 第20-29页 |
| ·机器人结构参数建模 | 第20-23页 |
| ·机器人正运动学 | 第23-24页 |
| ·机器人逆运动学 | 第24-26页 |
| ·机器人的速度与加速度 | 第26-28页 |
| ·机器人驱动空间和关节空间 | 第28-29页 |
| ·洁净晶圆传输机器人动力学模型 | 第29-32页 |
| ·动力学建模方法 | 第29页 |
| ·机器人动力学模型 | 第29-31页 |
| ·同步带传动动力学模型 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 洁净晶圆传输机器人运动学与动力学仿真 | 第33-41页 |
| ·计算多体动力学及 ADAMS 软件基础 | 第33-35页 |
| ·计算多体动力学理论 | 第33-34页 |
| ·ADAMS 软件基础 | 第34-35页 |
| ·洁净晶圆传输机器人动力学模型的建立 | 第35-39页 |
| ·建立几何模型 | 第35-36页 |
| ·定义约束关系 | 第36-38页 |
| ·检验样机模型 | 第38-39页 |
| ·洁净晶圆传输机器人整体模型 | 第39页 |
| ·样机初步仿真 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 洁净晶圆传输机器人轨迹规划 | 第41-56页 |
| ·轨迹规划概述 | 第41-42页 |
| ·B 样条曲线轨迹规划 | 第42-50页 |
| ·B 样条拟合轨迹规划 | 第42-44页 |
| ·B 样条插值轨迹规划 | 第44-50页 |
| ·洁净晶圆传输机器人轨迹规划 | 第50-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 轨迹规划仿真与结果分析 | 第56-68页 |
| ·基于 ADAMS 的轨迹规划仿真 | 第56-58页 |
| ·机电一体化联合仿真 | 第58-66页 |
| ·构造 ADAMS/View 样机模型 | 第59页 |
| ·确定 ADAMS 的输入和输出 | 第59-60页 |
| ·动力学模型输出 | 第60页 |
| ·在 Matlab 中导入 ADAMS 输出的动力学模型 | 第60-61页 |
| ·构造控制系统方框图 | 第61-63页 |
| ·机电系统仿真分析 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第73页 |