| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| ·硅基光子学的发展 | 第12-18页 |
| ·硅基有源器件的发展 | 第15-17页 |
| ·硅基无源器件的发展 | 第17-18页 |
| ·本论文的研究工作以及创新点 | 第18-19页 |
| ·硅基表面等离子体电光相位调制器 | 第18页 |
| ·硅基单片集成 16-QAM 调制器 | 第18-19页 |
| ·硅基表面等离子体光参量放大器 | 第19页 |
| ·硅基狭缝波导的耦合方案研究 | 第19页 |
| ·本文的章节安排 | 第19-21页 |
| 第二章 硅基电光相位调制器 | 第21-32页 |
| ·研究背景 | 第21-22页 |
| ·现有方案 | 第22-26页 |
| ·基于载流子色散效应的硅基相位调制器 | 第22-24页 |
| ·基于聚合物 Pockels 效应的硅基相位调制器 | 第24-26页 |
| ·混合表面等离子体相位调制器 | 第26-31页 |
| ·调制器结构及加工工艺 | 第26-28页 |
| ·调制原理 | 第28页 |
| ·仿真结果与分析 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 硅基单片集成 16-QAM 调制器 | 第32-41页 |
| ·研究背景 | 第32页 |
| ·现有方案 | 第32-37页 |
| ·基于铌酸锂调制器的单片集成 16-QAM 调制器 | 第32-34页 |
| ·基于 III-V 族调制器的单片集成 16-QAM 调制器 | 第34-36页 |
| ·基于硅基环形谐振腔调制器的单片集成 16-QAM 调制器 | 第36-37页 |
| ·基于表面等离子体相位调制器的硅基单片集成 16-QAM 调制器 | 第37-40页 |
| ·单片集成 16-QAM 调制器结构及调制原理 | 第37-39页 |
| ·仿真结果及器件性能分析 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 片上硅基光参量放大器 | 第41-57页 |
| ·研究背景 | 第41-42页 |
| ·OPA 理论分析 | 第42-43页 |
| ·现有方案 | 第43-45页 |
| ·基于硅基带状波导的 OPA | 第44页 |
| ·基于硅基狭缝波导的波长转换 | 第44-45页 |
| ·基于台阶型混合表面等离子体波导的 OPA | 第45-56页 |
| ·器件结构 | 第46-47页 |
| ·仿真结果及分析 | 第47-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 硅基狭缝波导的光耦合 | 第57-65页 |
| ·研究背景 | 第57-58页 |
| ·已有方案 | 第58-60页 |
| ·基于一个锥形结构的耦合器 | 第58页 |
| ·基于一对互补锥形对的耦合器 | 第58-59页 |
| ·基于两对互补锥形对的耦合器 | 第59-60页 |
| ·正交耦合器 | 第60-63页 |
| ·结构 | 第60-61页 |
| ·原理 | 第61-62页 |
| ·结果及分析 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 全文总结 | 第65-68页 |
| ·研究工作总结 | 第65-66页 |
| ·未来研究展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 缩略语 | 第74-76页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第76-77页 |
| 在审的学术论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-81页 |
| 附件 | 第81页 |
