| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·课题背景 | 第12-13页 |
| ·光刻机温度控制概述 | 第13-19页 |
| ·温控系统的国内外研究现状 | 第19-21页 |
| ·本文课题研究的内容和目标 | 第21-22页 |
| 第二章 热交换水循环子系统总体方案设计 | 第22-33页 |
| ·温控系统总体要求 | 第22页 |
| ·热交换水循环子系统总体方案设计 | 第22-23页 |
| ·制冷模块初步设计 | 第23-30页 |
| ·制冷单元的选型 | 第23-24页 |
| ·半导体制冷片工作原理 | 第24-25页 |
| ·半导体制冷片系统设计 | 第25-27页 |
| ·制冷模块散热方案设计 | 第27-29页 |
| ·制冷模块的固体材料选择 | 第29-30页 |
| ·加热水箱和循环管路系统初步设计 | 第30-31页 |
| ·循环液体的选取 | 第31-33页 |
| 第三章 制冷模块的结构设计及冷端温度场的有限元模拟分析 | 第33-53页 |
| ·流体热分析基础条件 | 第33-35页 |
| ·热传导、热对流相关概念 | 第33-34页 |
| ·流体控制方程 | 第34-35页 |
| ·制冷模块的结构设计 | 第35-41页 |
| ·制冷模块冷端的结构设计 | 第36-38页 |
| ·制冷模块热端的结构设计 | 第38-39页 |
| ·制冷模块的连接 | 第39-40页 |
| ·制冷模块三维建模 | 第40-41页 |
| ·制冷模块冷端的流体温度场有限元模拟分析 | 第41-53页 |
| ·制冷模块冷端建模 | 第41-42页 |
| ·制冷模块冷端的网格划分 | 第42-43页 |
| ·固体材料对制冷性能的影响分析 | 第43-44页 |
| ·半导体制冷片安装位置对制冷性能影响分析 | 第44-45页 |
| ·循环水入口流速对制冷性能影响分析 | 第45-47页 |
| ·冷端翅片盖板相关结构参数对制冷性能影响分析 | 第47-53页 |
| ·翅片长度对制冷性能的影响分析 | 第47-49页 |
| ·翅片宽度对制冷性能的影响分析 | 第49-51页 |
| ·翅片高度对制冷性能的影响分析 | 第51-53页 |
| 第四章 加热水箱和循环管路系统设计 | 第53-70页 |
| ·加热水箱的设计 | 第53-60页 |
| ·水箱的结构设计 | 第53-55页 |
| ·水箱的隔热措施 | 第55页 |
| ·加热器选型 | 第55-57页 |
| ·水箱对温度不均匀循环水混合效果仿真分析 | 第57-60页 |
| ·水箱加工工艺 | 第60页 |
| ·循环管路系统设计 | 第60-70页 |
| ·热负载压降计算以及泵的选型 | 第60-64页 |
| ·热负载压降计算 | 第60-63页 |
| ·泵的选型 | 第63-64页 |
| ·管路系统设计 | 第64-67页 |
| ·内循环管路设计 | 第64-65页 |
| ·外循环管路设计 | 第65-66页 |
| ·冷却水管路设计 | 第66页 |
| ·循环管路回路总体设计 | 第66-67页 |
| ·循环管路系统辅件选型 | 第67-68页 |
| ·管道材料选型和管径计算 | 第68-70页 |
| 第五章 装机试验 | 第70-76页 |
| ·试验样机的装机 | 第71-73页 |
| ·试验样机的内外循环和冷却水循环测试 | 第73-74页 |
| ·试验样机承载热负载能力测试 | 第74页 |
| ·试验样机承载热负载温控精度测试 | 第74-76页 |
| 第六章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·总结 | 第76-77页 |
| ·展望 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第82-83页 |