动态分形数字掩模技术制作微透镜及其阵列的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-15页 |
| ·微光学研究及现状 | 第9-10页 |
| ·微光学器件制作方法介绍 | 第10-12页 |
| ·二元套刻技术 | 第10-11页 |
| ·直写技术 | 第11页 |
| ·灰度掩模技术 | 第11-12页 |
| ·无掩模数字光刻技术 | 第12页 |
| ·动态分形数字掩模技术提出的必要性 | 第12-13页 |
| ·本论文研究主要工作及内容安排 | 第13-15页 |
| ·论文主要研究工作 | 第13-14页 |
| ·论文主要内容安排 | 第14-15页 |
| 第2章 动态分形数字掩模技术 | 第15-23页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·动态分形数字掩模技术 | 第15-23页 |
| ·实时数字掩模技术 | 第16-17页 |
| ·分形数字掩模技术 | 第17-18页 |
| ·动态分形数字掩模技术的原理 | 第18-21页 |
| ·动态分形曝光法提出的必要性及其原理 | 第21-23页 |
| 第3章 微透镜的设计 | 第23-33页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·衍射透镜的设计及其制作理论 | 第23-26页 |
| ·二元光学的基本理论 | 第23-25页 |
| ·衍射透镜的标量设计理论 | 第25-26页 |
| ·动态分形数字掩模技术的设计方法 | 第26-30页 |
| ·动态分形数字掩模技术的仿真验证 | 第30-33页 |
| 第4章 实验及其分析 | 第33-55页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·实验硬件装置 | 第33-38页 |
| ·DMD的成像原理 | 第38页 |
| ·实验软件部分 | 第38-41页 |
| ·实验步骤及工艺 | 第41-45页 |
| ·对本实验工艺的优化 | 第45-46页 |
| ·动态分形数字掩模技术制作微透镜的实验结果与分析 | 第46-50页 |
| ·微透镜掩模设计图形 | 第46-47页 |
| ·本实验的主要光刻工艺参数 | 第47页 |
| ·实验用的对比数字掩模图形 | 第47-49页 |
| ·实验结果及其分析 | 第49-50页 |
| ·动态分形数字掩模技术制作微透镜阵列 | 第50-52页 |
| ·动态分形数字掩模技术制作光栅阵列 | 第52-55页 |
| 第5章 结论 | 第55-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第63-64页 |
