激光微加工微结构体及超薄型Pt膜温度传感器的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·课题背景 | 第11-12页 |
| ·课题相关领域的发展概况 | 第12-16页 |
| ·激光微加工技术的发展概况 | 第12-13页 |
| ·温度传感器的发展概况 | 第13-15页 |
| ·薄膜温度传感器的发展概况 | 第15-16页 |
| ·课题的目的和意义 | 第16-17页 |
| ·本课题的来源及研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 激光微加工的工作原理及软件 | 第19-37页 |
| ·特点及应用 | 第19-21页 |
| ·特点 | 第19页 |
| ·应用 | 第19-21页 |
| ·激光调Q 的原理 | 第21-27页 |
| ·调Q 激光器概述 | 第21-22页 |
| ·调Q 原理 | 第22页 |
| ·调Q 激光器的速率方程 | 第22-24页 |
| ·速率方程的解 | 第24-25页 |
| ·声光调Q 原理 | 第25-27页 |
| ·激光微加工系统 | 第27-30页 |
| ·系统结构 | 第28-29页 |
| ·二运动控制系统的组成 | 第29-30页 |
| ·软件控制及基代码编程设计 | 第30-35页 |
| ·软件控制 | 第30-33页 |
| ·基代码编程设计 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 激光微加工工艺研究及微结构制作 | 第37-57页 |
| ·激光划片和激光调阻的参数研究与分析 | 第37-49页 |
| ·激光划片工艺参数与调阻宽度与深度的关系研究 | 第37-47页 |
| ·激光调阻工艺参数对调阻精度的影响研究 | 第47-49页 |
| ·微器件的激光微加工研究 | 第49-56页 |
| ·传感器掩模板的制作 | 第49-53页 |
| ·夹具的设计与加工 | 第53-55页 |
| ·激光微孔及激光微加工制作隔热槽 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 超薄型Pt 膜温度传感器的制作和测试分析 | 第57-71页 |
| ·Pt 膜温度传感器工作原理 | 第57-59页 |
| ·Pt 电阻温度传感器的基本原理 | 第57-58页 |
| ·Pt 膜温度传感器的特点 | 第58-59页 |
| ·超薄型Pt 膜温度传感器的激光微加工和制作 | 第59-67页 |
| ·超薄型Pt 膜温度传感器的设计 | 第59-61页 |
| ·磁控溅射前陶瓷基片的激光微加工 | 第61页 |
| ·Pt 膜磁控溅射研究和分析 | 第61-63页 |
| ·激光调阻机对Pt 膜的加工和分析 | 第63-65页 |
| ·基片分割和制作 | 第65-67页 |
| ·超薄型Pt 膜温度传感器的测试与分析 | 第67-70页 |
| ·测试方法和测试系统 | 第67-68页 |
| ·测试过程 | 第68-69页 |
| ·测试结果处理和分析 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
