基于纳米晶PZT/压电石英的压电生物传感研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·压电生物传感器概述 | 第9页 |
| ·压电生物传感器的应用 | 第9-11页 |
| ·气相方面的应用 | 第9-10页 |
| ·医学检验方面的应用 | 第10-11页 |
| ·基因研究方面的应用 | 第11页 |
| ·其它方面应用 | 第11页 |
| ·压电生物传感器的原理 | 第11-16页 |
| ·压电效应和压电材料 | 第11-12页 |
| ·压电石英晶体生物传感器原理 | 第12-16页 |
| ·本课题的研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 敏感单元的设计 | 第17-28页 |
| ·压电陶瓷概述 | 第17-19页 |
| ·PZT 的应用 | 第19-23页 |
| ·超声波传感器 | 第19页 |
| ·应力传感器 | 第19-20页 |
| ·振动接触探针传感器 | 第20-21页 |
| ·气敏传感器 | 第21-22页 |
| ·微陀螺 | 第22-23页 |
| ·热释电的红外探测器 | 第23页 |
| ·PZT 的谐振特性 | 第23-25页 |
| ·PZT 与压电石英结合 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 PZT 薄膜的制备工艺路线 | 第28-41页 |
| ·PZT 薄膜的制备方法 | 第28-31页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第28-29页 |
| ·磁控溅射 | 第29页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第29-30页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第30-31页 |
| ·原材料和工艺路线 | 第31-34页 |
| ·实验试剂 | 第32-33页 |
| ·主要实验仪器及设备 | 第33页 |
| ·实验流程图 | 第33-34页 |
| ·PZT 溶胶的粒度测试结果分析 | 第34-35页 |
| ·晶化处理 | 第35-36页 |
| ·差热和热重分析 | 第36-40页 |
| ·热分析基础 | 第36-38页 |
| ·PZT 干凝胶粉体的DTA 和TGA 分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 PZT 薄膜结晶的影响因素和表征 | 第41-56页 |
| ·PZT 择优取向生长因素 | 第41-45页 |
| ·衬底和电极材料的影响 | 第41-42页 |
| ·热处理工艺的影响 | 第42-43页 |
| ·其他工艺参数的影响 | 第43-45页 |
| ·PZT 超细颗粒生长机理 | 第45-47页 |
| ·薄膜的分析测试技术 | 第47-48页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第47-48页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第48页 |
| ·薄膜的分析测试 | 第48页 |
| ·不同基底上的XRD 和AFM 测试分析 | 第48-50页 |
| ·不同基底的表面形貌分析 | 第49页 |
| ·不同基底上PZT 的XRD 和AFM 分析 | 第49-50页 |
| ·不同热处理方式的对比 | 第50-54页 |
| ·CTA 和RTA 下的AFM 比较 | 第51-52页 |
| ·RTA 处理下不同退火温度下的AFM 比较 | 第52-53页 |
| ·PZT 薄膜不同层数的AFM 比较 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 敏感单元测试 | 第56-65页 |
| ·传感器装置 | 第56页 |
| ·压电谐振的等效电路 | 第56-59页 |
| ·压电晶体的等效电路和振荡频率 | 第56-58页 |
| ·并联型石英晶体正弦波振荡电路 | 第58页 |
| ·串联型石英晶体振荡电路 | 第58-59页 |
| ·敏感单元谐振特性分析 | 第59-63页 |
| ·快速与常规热处理敏感单元谐振性能 | 第59页 |
| ·PZT 薄膜不同层数条件下的谐振性能 | 第59-61页 |
| ·不同PZT 溶胶浓度下的谐振性能 | 第61-63页 |
| ·细胞测试 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第74-76页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第76页 |
