AFM横向测量中串扰效应的分析与消除方法的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第13-15页 |
| ·原子力显微镜原理及其研究现状 | 第15-19页 |
| ·AFM 原理及工作模式 | 第15-17页 |
| ·AFM 的扫描方式 | 第17-18页 |
| ·AFM 的研究现状 | 第18-19页 |
| ·影响AFM 测量的关键因素 | 第19-26页 |
| ·串扰效应对AFM 测量的影响 | 第19-22页 |
| ·针尖-样品夹角对AFM 测量的影响 | 第22-24页 |
| ·摩擦力对AFM 测量的影响 | 第24-26页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第26-27页 |
| 第2章 横向扫描与平行扫描的比较 | 第27-46页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·针尖-样品表面相互作用力 | 第27-30页 |
| ·原子间作用力 | 第28-29页 |
| ·接触力与摩擦力 | 第29-30页 |
| ·针尖受力与悬臂梁形变的关系 | 第30-34页 |
| ·平行扫描下悬臂梁的形变 | 第30-33页 |
| ·横向扫描下悬臂梁的形变 | 第33-34页 |
| ·针尖-样品夹角和摩擦力对测量结果的影响 | 第34-45页 |
| ·测量结果分析 | 第34-36页 |
| ·针尖-样品夹角对测量的影响 | 第36-39页 |
| ·摩擦力对测量的影响 | 第39-40页 |
| ·平行扫描下试样的仿真结果 | 第40-43页 |
| ·横向扫描下试样的仿真结果 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第3章 串扰效应对横向扫描测量结果的影响 | 第46-69页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·悬臂梁形变与PSPD 输出量间的关系 | 第46-49页 |
| ·AFM 中串扰效应的产生机理 | 第49-56页 |
| ·光路串扰效应 | 第49-53页 |
| ·几何串扰效应 | 第53-54页 |
| ·机械串扰效应 | 第54-56页 |
| ·串扰效应对横向扫描的影响 | 第56-63页 |
| ·光路串扰效应的影响 | 第57-60页 |
| ·几何串扰效应的影响 | 第60-61页 |
| ·机械串扰效应的影响 | 第61-63页 |
| ·不同试样仿真结果分析 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 第4章 消除串扰效应的恒力横向扫描方法 | 第69-87页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·恒力横向扫描方法 | 第69-71页 |
| ·影响串扰效应的因素 | 第69-70页 |
| ·恒力横向扫描方法的提出 | 第70-71页 |
| ·恒力横向扫描方法的误差分析 | 第71-76页 |
| ·针尖-样品夹角及摩擦导致的误差 | 第72-73页 |
| ·串扰效应导致的误差 | 第73-75页 |
| ·初始力设定导致的误差 | 第75-76页 |
| ·AFM 中串扰效应的修正 | 第76-82页 |
| ·几何串扰效应的修正 | 第76-78页 |
| ·光路串扰效应的修正 | 第78-79页 |
| ·机械串扰效应的修正 | 第79-81页 |
| ·光斑位移量的获取 | 第81-82页 |
| ·不同试样仿真结果分析 | 第82-85页 |
| ·限力横向扫描方法 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第5章 实验验证与测量结果分析 | 第87-101页 |
| ·引言 | 第87页 |
| ·实验设备 | 第87-89页 |
| ·AFM 系统 | 第87-89页 |
| ·探针 | 第89页 |
| ·实验前的相关准备 | 第89页 |
| ·摩擦力及串扰效应对测量的影响 | 第89-92页 |
| ·针尖-样品夹角及串扰效应的影响 | 第92-97页 |
| ·被测样品 | 第92-93页 |
| ·平行扫描下测量结果的分析 | 第93-94页 |
| ·横向扫描下测量结果的分析 | 第94-95页 |
| ·恒力横向扫描方法下测量结果的分析 | 第95-97页 |
| ·针尖张角对测量结果的影响 | 第97-100页 |
| ·卷积效应对测量结果的影响 | 第97-98页 |
| ·悬臂梁刚度对测量结果的影响 | 第98-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 结论 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-117页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 个人简历 | 第120页 |
