微动台六自由度霍尔微位移测量系统
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题的背景和研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 微位移测量技术发展现状 | 第10-16页 |
| 1.3 国内外多自由度微位移测量平台发展现状 | 第16-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 六自由度测量系统结构 | 第19-25页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 工件台微动台的机械结构 | 第19-20页 |
| 2.3 微动台运动控制流程 | 第20页 |
| 2.4 霍尔传感器测量系统 | 第20-22页 |
| 2.5 霍尔传感器安装位置分析 | 第22-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 六自由度系统的几何建模与解耦 | 第25-39页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 系统位置解耦计算 | 第25-30页 |
| 3.3 系数矩阵解耦方法 | 第30-32页 |
| 3.4 标定实验及参数矩阵求解 | 第32-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 信号采集卡设计 | 第39-48页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 硬件电路总体设计 | 第39-40页 |
| 4.3 数字信号电路模块设计 | 第40-43页 |
| 4.3.1 A/D模块设计 | 第40-41页 |
| 4.3.2 FPGA最小系统 | 第41-42页 |
| 4.3.3 RS422串口模块 | 第42-43页 |
| 4.4 模拟信号调理电路模块设计 | 第43-47页 |
| 4.4.1 仪用放大模块 | 第43-45页 |
| 4.4.2 信号滤波处理模块 | 第45-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 实验与分析 | 第48-57页 |
| 5.1 引言 | 第48页 |
| 5.2 单路霍尔传感器实验测试 | 第48-52页 |
| 5.2.1 线性度测试 | 第50-51页 |
| 5.2.2 稳定性测试 | 第51页 |
| 5.2.3 分辨力测试 | 第51-52页 |
| 5.3 六自由度测量系统实验 | 第52-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
