| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题背景 | 第8页 |
| 1.2 氧化锌的研究进展 | 第8-14页 |
| 1.2.1 氧化锌国外研究进展 | 第8-10页 |
| 1.2.2 氧化锌国内研究进展 | 第10-11页 |
| 1.2.3 掺杂氧化锌研究进展 | 第11-12页 |
| 1.2.4 锂掺杂氧化锌的研究进展 | 第12-14页 |
| 1.3 氧化锌的基本特性 | 第14-15页 |
| 1.4 氧化锌薄膜生长方法 | 第15-18页 |
| 1.4.1 脉冲激光沉积 | 第15-16页 |
| 1.4.2 分子束外延 | 第16-17页 |
| 1.4.3 化学气相沉积 | 第17页 |
| 1.4.4 磁控溅射 | 第17-18页 |
| 1.5 文章研究的内容 | 第18-19页 |
| 第2章 氧化锌薄膜样品制备及表征方法 | 第19-22页 |
| 2.1 样品制备技术 | 第19页 |
| 2.1.1 磁控溅射设备 | 第19页 |
| 2.1.2 退火设备 | 第19页 |
| 2.2 表征设备 | 第19-22页 |
| 2.2.1 X 射线衍射仪 | 第19-20页 |
| 2.2.2 原子力显微扫描电镜 | 第20页 |
| 2.2.3 紫外可见分光光度计 | 第20页 |
| 2.2.4 光致发光测试 | 第20页 |
| 2.2.5 霍尔测试 | 第20-22页 |
| 第3章 锂掺杂氧化锌薄膜的制备及性能研究 | 第22-32页 |
| 3.1 锂掺杂氧化锌薄膜样品的制备 | 第22-23页 |
| 3.2 锂掺杂氧化锌薄膜的性能表征及分析 | 第23-31页 |
| 3.2.1 锂掺杂对氧化锌薄膜结构的影响 | 第23-25页 |
| 3.2.2 锂掺杂对氧化锌薄膜形貌的影响 | 第25-26页 |
| 3.2.3 锂掺杂对氧化锌薄膜电学性能的影响 | 第26-27页 |
| 3.2.4 锂掺杂对氧化锌薄膜吸收光谱的影响 | 第27-29页 |
| 3.2.5 锂掺杂对氧化锌薄膜光致发光光谱的影响 | 第29-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 退火温度和生长温度对锂掺杂氧化锌薄膜结构和性能的影响 | 第32-51页 |
| 4.1 退火温度对锂掺杂氧化锌薄膜性能的影响 | 第32-40页 |
| 4.1.1 引言 | 第32-33页 |
| 4.1.2 不同退火温度处理的锂掺杂氧化锌薄膜性能的表征及分析 | 第33-40页 |
| 4.2 生长温度对锂掺杂氧化锌薄膜性能的影响 | 第40-48页 |
| 4.2.1 引言 | 第40-41页 |
| 4.2.2 不同生长温度锂掺杂氧化锌薄膜性能的表征及分析 | 第41-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-51页 |
| 第5章 气体流量比对锂掺杂氧化锌薄膜性能的影响 | 第51-59页 |
| 5.1 引言 | 第51-52页 |
| 5.2 不同气体流量比锂掺杂氧化锌薄膜的性能表征及分析 | 第52-57页 |
| 5.2.1 不同气体流量比锂掺杂氧化锌薄膜的结构研究 | 第52-53页 |
| 5.2.2 不同气体流量比锂掺杂氧化锌薄膜的形貌研究 | 第53-55页 |
| 5.2.3 不同气体流量比锂掺杂氧化锌薄膜的电学性能研究 | 第55-56页 |
| 5.2.4 不同气体流量比锂掺杂氧化锌薄膜的光学性能研究 | 第56-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
