| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-10页 |
| ·引言 | 第6页 |
| ·RGA 的应用背景 | 第6-7页 |
| ·RGA 的应用摘要 | 第7-8页 |
| ·RGA 的分类介绍 | 第8-10页 |
| 第二章 RGA 的原理研究 | 第10-20页 |
| ·RGA 的基本构成 | 第10页 |
| ·RGA 的基本原理 | 第10-11页 |
| ·侦测头 | 第11-18页 |
| ·离子源( Ion Source) | 第12-15页 |
| ·四极式离子选择管( Quadrupole Mass Filter) | 第15-17页 |
| ·离子电流接收器 | 第17-18页 |
| ·总结 | 第18-20页 |
| 第三章 RGA 系统的应用 | 第20-37页 |
| ·RGA 的应用摘要 | 第20-21页 |
| ·PVD 制程的背景介绍 | 第21-31页 |
| ·PVD 背景介绍 | 第21-23页 |
| ·PVD 制程的方法 | 第23-31页 |
| ·RGA 在 PVD 制程中的应用 | 第31-37页 |
| ·RGA 在 PVD 制程中的应用介绍 | 第31-33页 |
| ·RGA 在 PVD 制程中应用原理 | 第33-35页 |
| ·RGA 在 PVD 制程中软件规则 | 第35-37页 |
| 第四章 RGA 系统在 PVD 机台实践与应用 | 第37-50页 |
| 第五章 总结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |