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含硼金刚石单晶的微观品质与半导体性能的相关性研究

摘要第1-10页
ABSTRACT第10-12页
第一章 绪论第12-23页
   ·引言第12-13页
   ·含硼金刚石的合成第13-14页
     ·金刚石相的转变第13-14页
     ·含硼金刚石单晶的合成方法第14页
   ·含硼金刚石单晶的结构与形貌第14-16页
     ·含硼金刚石单晶的结构第14-16页
     ·含硼金刚石单晶的形貌第16页
   ·含硼金刚石单晶的性能及研究现状第16-20页
     ·含硼金刚石单晶的性能第16-17页
     ·研究现状第17-20页
   ·选题意义及研究内容第20-23页
     ·选题意义第20-22页
     ·研究内容第22-23页
第二章 实验方法第23-28页
   ·金刚石单晶的高温高压合成方法第23-24页
   ·含硼金刚石单晶的退火处理第24-25页
   ·形貌观察与表征方法第25页
     ·金刚石晶形的观察第25页
     ·场发射扫描电子显微镜(FESEM)分析第25页
   ·含硼金刚石单晶的结构分析方法第25页
     ·XRD分析第25页
     ·Raman分析第25页
   ·金刚石单晶的性能检测方法第25-28页
     ·金刚石的常温电阻检测第25-26页
     ·阴极发光性质检测第26页
     ·阻抗测试第26-27页
     ·差热分析(DTA)第27-28页
第三章 含硼金刚石单晶的形貌与结构分析第28-35页
   ·引言第28页
   ·不同类型金刚石单晶的形貌观察结果第28-31页
     ·宏观形貌观察结果第28-29页
     ·含硼金刚石单晶的场发射扫描电镜(FESEM)观察结果第29-31页
   ·含硼金刚石单晶的结构分析结果第31-33页
     ·XRD分析结果第31-32页
     ·Raman光谱分析结果第32-33页
   ·掺硼后金刚石形貌与结构变化之间的关系第33-34页
   ·本章小结第34-35页
第四章 含硼金刚石单晶的电学性能分析结果第35-42页
   ·引言第35页
   ·硼含量对金刚石单晶阴极发光性质的影响第35-39页
     ·硼含量对金刚石单晶(100)晶面阴极发光性能的影响第37-38页
     ·硼含量对金刚石单晶(111)晶面阴极发光性能的影响第38-39页
   ·金刚石单晶的常温电阻率检测第39-40页
   ·含硼金刚石单晶的电学性能与结构的相关性分析第40-41页
   ·本章小结第41-42页
第五章 含硼金刚石单晶的其他性能分析第42-52页
   ·退火处理对含硼金刚石单晶的影响第42-44页
     ·退火温度对含硼金刚石单晶(100)晶面的影响第42-43页
     ·退火温度对含硼金刚石单晶(111)晶面的影响第43-44页
   ·含硼金刚石单晶的热分析第44-49页
     ·差热分析(DTA)第44-47页
     ·热重分析(TG)第47-49页
   ·含硼金刚石单晶的阻抗测试结果第49-51页
   ·本章小结第51-52页
第六章 结论第52-53页
参考文献第53-57页
致谢第57-58页
附录第58-59页
学位论文评阅及答辩情况表第59页

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