氧化锌掺钇透明导电膜的制备及特性研究
| 摘要 | 第1-10页 |
| Abstract | 第10-13页 |
| 符号表 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| ·概述 | 第14-15页 |
| ·ZnO晶体结构及特性 | 第15-17页 |
| ·ZnO基薄膜概况 | 第17-22页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的介绍 | 第17页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的制备方法 | 第17-21页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的应用 | 第21-22页 |
| ·研究课题选取 | 第22-23页 |
| 第二章 薄膜制备及表征方法 | 第23-38页 |
| ·制备方法及原理 | 第23-28页 |
| ·磁控溅射 | 第23-24页 |
| ·溅射原理 | 第24-28页 |
| ·直流溅射 | 第24-27页 |
| ·射频溅射 | 第27-28页 |
| ·YZO样品制备 | 第28-30页 |
| ·YZO靶材的制备 | 第28-29页 |
| ·YZO薄膜样品的制备 | 第29-30页 |
| ·衬底清洗过程 | 第29-30页 |
| ·溅射过程 | 第30页 |
| ·测试方法及原理 | 第30-38页 |
| ·电学特性测量 | 第30-33页 |
| ·方块电阻的测量 | 第30-32页 |
| ·霍尔效应测量 | 第32-33页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第33-34页 |
| ·薄膜光学特性测量 | 第34-36页 |
| ·薄膜结构特性测量 | 第36-38页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第36页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第36-38页 |
| 第三章 YZO薄膜性质的研究 | 第38-58页 |
| ·厚度对YZO薄膜性质的影响 | 第38-44页 |
| ·薄膜厚度与溅射时间的关系 | 第38-39页 |
| ·厚度对YZO薄膜结构特性的影响 | 第39-42页 |
| ·厚度对YZO薄膜电学特性的影响 | 第42-43页 |
| ·厚度对YZO薄膜光学特性的影响 | 第43-44页 |
| ·溅射气压对YZO薄膜性质的影响 | 第44-51页 |
| ·溅射气压对YZO薄膜生长速率的影响 | 第45-46页 |
| ·溅射气压对YZO薄膜结构特性的影响 | 第46-48页 |
| ·溅射气压对YZO薄膜电学特性的影响 | 第48-49页 |
| ·溅射气压对YZO薄膜光学特性的影响 | 第49-51页 |
| ·溅射功率对YZO薄膜性质的影响 | 第51-58页 |
| ·溅射功率对YZO薄膜成膜速率的影响 | 第52页 |
| ·溅射功率对YZO薄膜结构特性的影响 | 第52-55页 |
| ·溅射功率对YZO薄膜电学特性的影响 | 第55-56页 |
| ·溅射功率对YZO薄膜光学特性的影响 | 第56-58页 |
| 第四章 结论 | 第58-60页 |
| ·主要成果 | 第58-59页 |
| ·主要创新点 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第69页 |
