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ZnO薄膜的制备及氨化Ga2O3/ZnO薄膜合成一维GaN纳米结构的研究

摘要第1-8页
Abstract第8-12页
第一章 绪论第12-36页
   ·GaN 材料的基本性质,应用及研究进展第12-20页
   ·ZnO 材料的基本性质及其应用第20-23页
   ·纳米材料和器件的研究概况第23-33页
   ·选题依据第33-36页
第二章 实验设备和测试方法第36-40页
   ·实验设备第36-37页
   ·实验中所需要的主要材料和试剂第37-38页
   ·样品的测试和表征第38-40页
第三章 射频磁控溅射和退火法制备 ZnO 薄膜第40-46页
   ·样品的制备第40页
   ·结果与分析第40-45页
   ·结论第45-46页
第四章 一维 GaN 纳米结构的合成第46-62页
   ·氨化温度对 GaN 纳米结构形貌的影响第46-50页
   ·氨化时间对 GaN 纳米结构形貌的影响第50-53页
   ·ZnO 层溅射时间对 GaN 纳米结构形貌的影响第53-54页
   ·样品的透射电镜(TEM)和选区电子衍射(SAED)分析第54-56页
   ·纳米结构的高分辨电镜(HRTEM)分析第56-57页
   ·纳米结构生长机制初探第57-62页
第五章 结论第62-64页
   ·本文的主要研究结果第62-63页
   ·对今后工作的建议第63-64页
参考文献第64-71页
攻读硕士学位期间发表的论文目录第71-74页
致谢第74页

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