碱溶性光敏预聚物的合成及在抗蚀剂中的应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·紫外光固化体系 | 第10-12页 |
| ·预聚物 | 第10-11页 |
| ·光引发剂与光敏剂 | 第11-12页 |
| ·活性稀释剂 | 第12页 |
| ·光致抗蚀剂及其研究进展 | 第12-20页 |
| ·抗蚀剂的分类 | 第14页 |
| ·负型光致抗蚀剂 | 第14-17页 |
| ·正型光致抗蚀剂 | 第17-18页 |
| ·化学增幅光致抗蚀剂 | 第18-20页 |
| ·碱溶性光敏树脂的研究进展 | 第20-22页 |
| ·本课题的研究意义 | 第22-23页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 碱溶性光敏预聚物的合成与表征 | 第24-35页 |
| ·引言 | 第24-25页 |
| ·实验部分 | 第25-27页 |
| ·主要实验原材料 | 第25页 |
| ·仪器设备 | 第25-26页 |
| ·酸酐改性丙烯酸羟乙酯预聚物(AHHEA)的合成 | 第26页 |
| ·测试与表征 | 第26-27页 |
| ·结果与讨论 | 第27-33页 |
| ·反应时间对转化率的影响 | 第27-28页 |
| ·催化剂用量对转化率的影响 | 第28页 |
| ·配比对转化率的影响 | 第28-29页 |
| ·投料方式对转化率的影响 | 第29-30页 |
| ·不同酸酐对反应的影响 | 第30-32页 |
| ·红外光谱分析 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 碱溶性光敏预聚物的UV固化及性能研究 | 第35-48页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·实验部分 | 第35-39页 |
| ·实验药品 | 第35-36页 |
| ·仪器设备 | 第36页 |
| ·紫外光固化膜的制备 | 第36页 |
| ·紫外光固化机理 | 第36-38页 |
| ·测试与表征 | 第38-39页 |
| ·结果与讨论 | 第39-46页 |
| ·光固化性能 | 第39-40页 |
| ·固化膜红外分析 | 第40-41页 |
| ·预聚物的光固化行为 | 第41-42页 |
| ·耐酸性 | 第42-43页 |
| ·碱液剥膜性 | 第43-44页 |
| ·固化膜热分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 碱溶性光致抗蚀剂配方工艺的探索 | 第48-70页 |
| ·引言 | 第48-49页 |
| ·实验部分 | 第49-55页 |
| ·主要原材料及规格 | 第49页 |
| ·主要仪器和设备 | 第49-50页 |
| ·配方设计流程及原料的选择 | 第50-52页 |
| ·碱溶性光致抗蚀剂的制备工艺 | 第52-53页 |
| ·原配方及优缺点 | 第53-54页 |
| ·测试与表征 | 第54-55页 |
| ·结果与讨论 | 第55-68页 |
| ·光引发剂的选择 | 第55-58页 |
| ·光引发剂的量对光固化的影响 | 第58-59页 |
| ·硫酸钡对抗蚀剂性能的影响 | 第59-62页 |
| ·气相二氧化硅对抗蚀剂性能的影响 | 第62-64页 |
| ·氧阻聚抑制的探讨 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第5章 结论 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录 | 第77页 |
