亚波长光栅阵列波前传感技术基础研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 波前传感技术介绍 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外波前传感器研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 区域型 | 第12-15页 |
| 1.2.2 模式型 | 第15-16页 |
| 1.2.3 其他波前传感技术 | 第16页 |
| 1.2.4 各类波前传感技术优缺点总结 | 第16-18页 |
| 1.3 亚波长光栅研究现状及分析 | 第18-20页 |
| 1.3.1 亚波长光栅研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3.2 亚波长光栅应用于波前传感的关键问题 | 第19-20页 |
| 1.4 研究目标及意义 | 第20-22页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 亚波长光栅阵列波前传感原理 | 第23-48页 |
| 2.1 亚波长光学结构的计算方法 | 第23-26页 |
| 2.2 亚波长光栅对光波入射角度的响应 | 第26-35页 |
| 2.2.1 亚波长光栅的角度敏感性 | 第26-28页 |
| 2.2.2 入射光偏振态的影响 | 第28-35页 |
| 2.3 亚波长光栅阵列波前传感器测量原理 | 第35-47页 |
| 2.3.1 亚波长金属光栅的透过率曲线 | 第35-40页 |
| 2.3.2 单一子单元内波前传感的原理 | 第40-44页 |
| 2.3.3 角度斜率转换及波前重构 | 第44-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 亚波长光栅阵列波前传感器设计 | 第48-67页 |
| 3.1 亚波长光栅设计 | 第48-57页 |
| 3.1.1 镀膜材料 | 第49-51页 |
| 3.1.2 光栅周期 | 第51-53页 |
| 3.1.3 膜层厚度 | 第53-55页 |
| 3.1.4 占空比 | 第55-57页 |
| 3.2 亚波长光栅阵列传感器结构设计 | 第57-64页 |
| 3.2.1 亚波长光栅阵列设计 | 第57-62页 |
| 3.2.2 总体结构设计 | 第62-64页 |
| 3.3 图像处理算法 | 第64-66页 |
| 3.3.1 光斑强度计算 | 第64-65页 |
| 3.3.2 波前重构 | 第65-66页 |
| 3.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第4章 仿真实验与误差分析 | 第67-77页 |
| 4.1 仿真流程设计 | 第67-68页 |
| 4.2 使用FDTD计算透过率曲线 | 第68-69页 |
| 4.3 传感器仿真实验 | 第69-73页 |
| 4.4 传感器设计性能分析 | 第73-76页 |
| 4.4.1 动态范围 | 第73-74页 |
| 4.4.2 灵敏度 | 第74-75页 |
| 4.4.3 采样率 | 第75-76页 |
| 4.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 结论与展望 | 第77-80页 |
| 1、本文主要结论 | 第77-78页 |
| 2、本文创新点 | 第78页 |
| 3、展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
