| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 课题来源和背景 | 第8-9页 |
| 1.2 刻蚀机概况 | 第9-13页 |
| 1.2.1 刻蚀机发展概况 | 第9-12页 |
| 1.2.2 刻蚀工艺概述 | 第12-13页 |
| 1.3 文献综述 | 第13-17页 |
| 1.3.1 均匀性研究概况 | 第14-16页 |
| 1.3.2 刻蚀工艺或腔室结构优化设计概况 | 第16-17页 |
| 1.4 课题学术和实用意义 | 第17-18页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 刻蚀机腔室结构和工艺参数的二维刻蚀特性分析 | 第20-50页 |
| 2.1 刻蚀机腔室结构与刻蚀原理 | 第20-21页 |
| 2.2 数值模型 | 第21-25页 |
| 2.2.1 基本假设 | 第21-22页 |
| 2.2.2 刻蚀速率数值模型 | 第22页 |
| 2.2.3 流体力学方程及算法选择 | 第22-24页 |
| 2.2.4 网格划分及边界条件 | 第24-25页 |
| 2.3 腔室结构和工艺参数对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响 | 第25-48页 |
| 2.3.1 入口流量对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响 | 第25-28页 |
| 2.3.2 入口半径对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响 | 第28-31页 |
| 2.3.3 阻尼板结构对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响 | 第31-38页 |
| 2.3.4 Hbs 间距对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响 | 第38-41页 |
| 2.3.5 Gap 间距对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响 | 第41-43页 |
| 2.3.6 喷淋板渗透率对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响 | 第43-47页 |
| 2.3.7 斜挡板对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响 | 第47-48页 |
| 2.4 小结 | 第48-50页 |
| 3 刻蚀机腔室结构和关键工艺参数的优化 | 第50-64页 |
| 3.1 优化算法基本原理 | 第50-52页 |
| 3.1.1 响应面法 | 第50-51页 |
| 3.1.2 中心组合设计 | 第51-52页 |
| 3.2 刻蚀机腔室结构和关键工艺参数的响应面分析 | 第52-59页 |
| 3.2.1 结构和关键工艺参数的拟合 | 第52-55页 |
| 3.2.2 拟合度检验和显著性分析 | 第55-59页 |
| 3.3 基于响应面和遗传算法的刻蚀腔室优化 | 第59-62页 |
| 3.3.1 遗传算法 | 第59-61页 |
| 3.3.2 基于响应面的自适应遗传算法 | 第61-62页 |
| 3.4 小结 | 第62-64页 |
| 4 刻蚀机腔室结构的尝试性设计 | 第64-72页 |
| 4.1 曲面阻尼板、平面喷淋板结构 | 第64-65页 |
| 4.1.1 曲面阻尼板、平面喷淋板结构云图分布 | 第64页 |
| 4.1.2 曲面阻尼板、平面喷淋板结构刻蚀速率空间分布 | 第64-65页 |
| 4.2 闭合平面阻尼板、平面喷淋板结构 | 第65-66页 |
| 4.2.1 闭合平面阻尼板、平面喷淋板结构云图分布 | 第65-66页 |
| 4.2.2 闭合平面阻尼板、平面喷淋板结构刻蚀速率空间分布 | 第66页 |
| 4.3 曲面阻尼板、曲面喷淋板结构 | 第66-67页 |
| 4.3.1 曲面阻尼板、曲面喷淋板结构云图分布 | 第66-67页 |
| 4.3.2 曲面阻尼板、曲面喷淋板结构刻蚀速率空间分布 | 第67页 |
| 4.4 闭合平面阻尼板、曲面喷淋板结构 | 第67-68页 |
| 4.4.1 闭合平面阻尼板、曲面喷淋板结构云图分布 | 第67-68页 |
| 4.4.2 闭合平面阻尼板、曲面喷淋板结构刻蚀速率空间分布 | 第68页 |
| 4.5 双出口刻蚀腔室 | 第68-69页 |
| 4.5.1 双出口刻蚀腔室云图分布 | 第68-69页 |
| 4.5.2 双出口刻蚀腔室刻蚀速率空间分布 | 第69页 |
| 4.6 小结 | 第69-72页 |
| 5 总结与展望 | 第72-74页 |
| 5.1 总结 | 第72页 |
| 5.2 主要创新之处 | 第72-73页 |
| 5.3 后续研究工作 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 附录 | 第80页 |
| A 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第80页 |
| B 作者在攻读学位期间取得的科研成果目录 | 第80页 |
