基片式光纤光栅应变传感器金属化封装的关键技术
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 光纤光栅应变传感器应用简介 | 第8-9页 |
| 1.2 基片式光纤光栅应变传感器的封装类型 | 第9-12页 |
| 1.3 基片式光纤光栅应变传感器的金属化封装现状 | 第12-15页 |
| 1.4 研究内容及意义 | 第15-16页 |
| 2 基片式光纤光栅应变传感器金属化封装方案 | 第16-22页 |
| 2.1 电镀原理 | 第16-18页 |
| 2.2 基片式光纤光栅应变传感器金属化封装方案 | 第18-20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-22页 |
| 3 光纤光栅的金属化工艺 | 第22-38页 |
| 3.1 金属镀膜方法 | 第22-24页 |
| 3.1.1 真空蒸镀 | 第22-23页 |
| 3.1.2 磁控溅射 | 第23页 |
| 3.1.3 化学镀膜 | 第23页 |
| 3.1.4 光纤光栅的金属化 | 第23-24页 |
| 3.2 光纤光栅的金属化方案 | 第24-29页 |
| 3.2.1 化学镀银机理 | 第24-26页 |
| 3.2.2 光纤光栅表面化学镀银 | 第26-29页 |
| 3.3 光纤光栅的金属化工艺优化 | 第29-36页 |
| 3.3.1 实验方案 | 第29页 |
| 3.3.2 镀层评价体系 | 第29-30页 |
| 3.3.3 镀层评价方案 | 第30-33页 |
| 3.3.4 实验结果 | 第33-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 4 光纤光栅的超级电镀封装 | 第38-52页 |
| 4.1 金属封装基片的设计 | 第38-45页 |
| 4.1.1 材料的选取 | 第39-40页 |
| 4.1.2 结构的设计 | 第40-42页 |
| 4.1.3 仿真结果 | 第42-45页 |
| 4.2 超级电镀工艺优化 | 第45-50页 |
| 4.2.1 粘接参数 | 第45-46页 |
| 4.2.2 超级电镀装置 | 第46-48页 |
| 4.2.3 超级电镀结果 | 第48-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 5 性能评价 | 第52-70页 |
| 5.1 基片式光纤光栅应变传感器的金属化封装实验 | 第52-53页 |
| 5.2 光纤光栅金属化封装效果的定性评价 | 第53-56页 |
| 5.3 光纤光栅金属化封装质量的定量评估 | 第56-65页 |
| 5.3.1 拉力实验 | 第56-58页 |
| 5.3.2 实验数据处理 | 第58-62页 |
| 5.3.3 应变传感结果的评估 | 第62-63页 |
| 5.3.4 应变传递过程的评估 | 第63-65页 |
| 5.4 与有机胶封装的对比 | 第65-68页 |
| 5.4.1 有机胶封装实验 | 第65-66页 |
| 5.4.2 实验结果 | 第66-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 6 总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 总结 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 附录 | 第80页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第80页 |
