高分辨率微分移相干涉显微测量系统的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第8页 |
| 1.2 表面形貌测量技术的发展现状 | 第8-12页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 基于弱相干理论构建移相干涉显微系统 | 第13-33页 |
| 2.1 引言 | 第13页 |
| 2.2 光学系统设计 | 第13-14页 |
| 2.3 干涉成像系统设计 | 第14-25页 |
| 2.3.1 干涉显微镜 | 第14-18页 |
| 2.3.2 单轴平晶 | 第18-21页 |
| 2.3.3 移相器 | 第21-25页 |
| 2.4 照明系统设计 | 第25-31页 |
| 2.4.1 照明的方法和设计原则 | 第25-26页 |
| 2.4.2 光在系统中的能量传播 | 第26-28页 |
| 2.4.3 光源的选择 | 第28-29页 |
| 2.4.4 LED 的相干性 | 第29-31页 |
| 2.4.5 准直与滤波 | 第31页 |
| 2.5 系统的光路结构 | 第31-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 弱相干光信息处理算法 | 第33-39页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 干涉图的噪声预处理 | 第33-34页 |
| 3.3 相位测量算法 | 第34-35页 |
| 3.4 恢复表面形貌算法 | 第35-36页 |
| 3.5 GUI 设计 | 第36-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 实验结果与误差分析 | 第39-56页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 实验结果 | 第39-50页 |
| 4.2.1 蓝宝石基片测量 | 第39-43页 |
| 4.2.2 电脑硬盘测量 | 第43-48页 |
| 4.2.3 铝质金属板测量 | 第48-50页 |
| 4.2.4 样品粗糙度 | 第50页 |
| 4.3 系统测量性能分析 | 第50-53页 |
| 4.3.1 横向分辨率 | 第50-51页 |
| 4.3.2 纵向分辨率 | 第51页 |
| 4.3.3 垂直测量范围 | 第51-52页 |
| 4.3.4 重复测量精度 | 第52-53页 |
| 4.4 系统误差分析 | 第53-55页 |
| 4.4.1 移相器误差 | 第53-54页 |
| 4.4.2 单轴平晶误差 | 第54页 |
| 4.4.3 CCD 误差 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
