条纹集电极CIGBT器件仿真与特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 CIGBT研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 研究思路与研究内容 | 第11-13页 |
| 2 条纹集电极CIGBT工作原理 | 第13-21页 |
| 2.1 CIGBT基本工作原理 | 第13-16页 |
| 2.1.1 CIGBT纵向器件结构 | 第13-14页 |
| 2.1.2 CIGBT工作原理 | 第14-16页 |
| 2.2 条纹集电极结构 | 第16-20页 |
| 2.2.1 CIGBT集电极区作用 | 第16-17页 |
| 2.2.2 条纹集电极结构的优点 | 第17-20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 条纹集电极CIGBT器件设计及关键工艺 | 第21-34页 |
| 3.1 器件设计 | 第21-31页 |
| 3.1.1 器件耐压设计 | 第21-23页 |
| 3.1.2 阈值电压设计 | 第23-24页 |
| 3.1.3 N阱设计 | 第24-27页 |
| 3.1.4 集电极参数设计 | 第27-28页 |
| 3.1.5 结终端设计 | 第28-31页 |
| 3.2 工艺流程 | 第31-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 条纹集电极CIGBT静态特性仿真 | 第34-43页 |
| 4.1 击穿特性 | 第34-35页 |
| 4.2 转移特性 | 第35-36页 |
| 4.3 输出特性 | 第36-42页 |
| 4.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 5 条纹集电极CIGBT开关特性仿真 | 第43-56页 |
| 5.1 条纹集电极CIGBT开关测试电路 | 第43-47页 |
| 5.2 条纹集电极CIGBT关断过程 | 第47-55页 |
| 5.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
