硅基螺旋电感品质因子提高的研究

摘要	第1-7页
Abstract	第7-9页
第一章 绪论	第9-23页
·研究背景和意义	第9-14页
·常用无线通信系统	第9-13页
·射频集成电感的特点	第13-14页
·国内外的研究现状	第14-22页
·本文的主要研究内容和章节安排	第22-23页
第二章 电感在射频模块中的应用	第23-26页
·压控振荡器(VCO)	第23-24页
·低噪声放大器(LNA)	第24-26页
第三章 电感的模型	第26-35页
·单π物理模型	第26-32页
·双π宽带物理模型	第32-35页
第四章 影响电感性能的因素及优化	第35-48页
·片上电感的损耗机制	第35-37页
·衬底损耗分析	第35-36页
·金属层损耗分析	第36-37页
·衬底对电感的影响	第37-40页
·衬底电阻率	第37-38页
·介质层的影响	第38-40页
·金属线圈对电感的影响	第40-48页
第五章 电感流片和测试	第48-56页
·电感的流片步骤	第48-49页
·电感的测试	第49-51页
·测试数据的处理	第51-54页
·测试结果分析	第54-56页
第六章 结论与展望	第56-57页
·实验的成果和存在的问题	第56页
·展望射频电感的发展方向	第56-57页
参考文献	第57-61页
致谢	第61-62页
攻读学位期间发表的学术论文目录	第62页