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Zn1-xCrxO稀磁半导体薄膜的制备和性能研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-9页
第一章 绪论第9-20页
   ·半导体自旋电子学第9-11页
     ·什么是半导体自旋电子学第9页
     ·自旋电子学的发展第9-11页
   ·稀磁半导体概述第11-14页
     ·稀磁半导体的概念第11-12页
     ·稀磁半导体的物理性质第12-14页
   ·稀磁半导体磁性物理机制第14-16页
     ·绝缘体内的交换作用第14页
     ·载流子媒介交换作用第14-15页
     ·束缚迁磁极化子第15-16页
   ·稀磁半导体的研究现状第16-17页
     ·Mn掺杂体系第16页
     ·Co及其它TM掺杂体系第16-17页
   ·稀磁半导体的应用前景第17-19页
     ·发光材料和光探测器第17页
     ·含有DMS材料的量子阱和超晶格第17-18页
     ·与DMS巨磁光效应有关的材料和器件第18-19页
   ·主要的研究内容第19-20页
第二章 稀磁半导体薄膜的制备与表征第20-27页
   ·稀磁半导体薄膜的制备方法第20-23页
     ·射频磁控溅射法第20-21页
     ·分子束外延法第21页
     ·离子注入技术第21-22页
     ·脉冲激光沉积第22页
     ·溶胶-凝胶法第22-23页
     ·其它制备方法第23页
   ·本课题的薄膜样品的制备第23-25页
     ·金属Cr薄膜的制备第24-25页
     ·ZnO薄膜的制备第25页
     ·Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的制备第25页
   ·薄膜的测试第25-27页
     ·结构的测试第25-26页
     ·输运性能的测量第26-27页
第三章 ZnO薄膜、金属Cr薄膜的结构分析第27-39页
   ·概述第27-28页
     ·ZnO薄膜的晶体结构第27-28页
     ·ZnO基稀磁半导体第28页
   ·ZnO薄膜的结构表征第28-35页
     ·衬底温度对ZnO薄膜结构的影响第28-30页
     ·溅射功率对ZnO薄膜结构的影响第30-31页
     ·氧气含量对ZnO薄膜结构的影响第31-32页
     ·不同衬底类型对ZnO薄膜结构的影响第32-34页
     ·ZnO薄膜的溅射速率第34-35页
   ·金属Cr薄膜结构表征第35-38页
     ·本底真空对Cr薄膜的结构影响第35-36页
     ·工作气压对Cr薄膜的结构影响第36-37页
     ·溅射功率对Cr薄膜的结构影响第37-38页
     ·Cr薄膜的溅射速率第38页
   ·小结第38-39页
第四章 Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的结构表征和性能分析第39-46页
   ·Zn_(1-x)Cr_xO稀磁半导体结构的表征第39-42页
     ·Zn_(1-x)Cr_xO结构特性第39-40页
     ·成份及价态的表征第40-42页
   ·Zn_(1-x)Cr_xO输运特性的表征第42-44页
     ·磁输运性能第42-43页
     ·电输运特性第43-44页
   ·光学特性第44-45页
   ·小结第45-46页
第五章 结论与展望第46-48页
   ·结论第46页
   ·问题和展望第46-48页
参考文献第48-52页
攻读硕士学位期间发表的论文第52页
攻读硕士学位期间参与的科研项目第52-53页
致谢第53页

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