化学液相淀积法制备氧化铝薄膜

第一章 引言	第1-8页
第二章 氧化硅薄膜的生长及表征	第8-14页
2．1 化学液相淀积氧化硅薄膜的工艺	第8-9页
2．2 理论讨论与实验表征	第9-14页
第三章 氧化铝薄膜的生长及表征	第14-25页
3．1 化学液相淀积氧化铝薄膜的工艺	第14-15页
3．2 化学液相淀积氧化铝薄膜的理论	第15-18页
3．3 化学液相淀积氧化铝薄膜的表征	第18-25页
第四章 结论	第25-26页
致谢	第26-27页
参考文献	第27-29页