浸没式ArF光刻物镜的光学设计及像差控制
| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第15-31页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第15-18页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第18-27页 |
| 1.2.1 光刻物镜光学结构设计研究现状 | 第18-23页 |
| 1.2.2 偏振像差的影响及控制研究现状 | 第23-25页 |
| 1.2.3 光刻物镜的像差补偿研究现状 | 第25-27页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第27-29页 |
| 1.3.1 浸没式光刻物镜光学结构设计研究 | 第27-28页 |
| 1.3.2 偏振像差的影响及控制方法研究 | 第28页 |
| 1.3.3 公差分析及像差补偿方法研究 | 第28页 |
| 1.3.4 实验型光刻物镜研制及像差补偿方法应用 | 第28-29页 |
| 1.4 论文主要内容安排 | 第29-31页 |
| 第2章 设计方案确定 | 第31-45页 |
| 2.1 成像原理及偏振像差 | 第31-39页 |
| 2.1.1 矢量光刻成像原理 | 第31-34页 |
| 2.1.2 物镜偏振像差及表征 | 第34-39页 |
| 2.2 设计方案确定 | 第39-44页 |
| 2.2.1 设计指标 | 第39页 |
| 2.2.2 设计难点 | 第39-40页 |
| 2.2.3 整体设计方案 | 第40-41页 |
| 2.2.4 初始结构选型分析 | 第41-44页 |
| 2.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 物镜的光学结构设计 | 第45-64页 |
| 3.1 光源及光学材料 | 第45-47页 |
| 3.2 各子镜组的设计特点及方法研究 | 第47-50页 |
| 3.3 工程化设计的约束条件 | 第50-51页 |
| 3.4 多维度参数优化方法 | 第51-53页 |
| 3.5 NA1.2 系统设计结果 | 第53-60页 |
| 3.5.1 结构及基本光学特性 | 第53-55页 |
| 3.5.2 非球面工艺性评估 | 第55-56页 |
| 3.5.3 远心度分析 | 第56-57页 |
| 3.5.4 MTF、场曲及畸变分析 | 第57-58页 |
| 3.5.5 波像差 | 第58-59页 |
| 3.5.6 光刻性能仿真 | 第59-60页 |
| 3.6 NA1.25及NA1.35系统设计结果 | 第60-62页 |
| 3.7 本章小结 | 第62-64页 |
| 第4章 偏振像差的影响及控制 | 第64-96页 |
| 4.1 关键因素引起的偏振效应分析 | 第64-74页 |
| 4.1.1 光学薄膜的偏振特性分析 | 第64-69页 |
| 4.1.2 氟化钙的偏振特性分析 | 第69-74页 |
| 4.2 裸镜系统的偏振像差分析 | 第74-78页 |
| 4.3 规整膜系统的偏振像差分析 | 第78-82页 |
| 4.3.1 偏振像差分析及光刻性能影响 | 第78-81页 |
| 4.3.2 偏振子像差对光刻性能的影响 | 第81-82页 |
| 4.4 偏振像差控制 | 第82-95页 |
| 4.4.1 每个表面入射角及偏振分析 | 第83-84页 |
| 4.4.2 非规整膜系设计 | 第84-88页 |
| 4.4.3 氟化钙与膜层的协同优化 | 第88-92页 |
| 4.4.4 偏振像差控制结果 | 第92-94页 |
| 4.4.5 光刻性能仿真 | 第94-95页 |
| 4.5 本章小结 | 第95-96页 |
| 第5章 公差分析及像差补偿 | 第96-119页 |
| 5.1 公差灵敏度分析 | 第96-99页 |
| 5.2 补偿器优择 | 第99-103页 |
| 5.3 利用面形自动匹配的像差补偿 | 第103-113页 |
| 5.3.1 面形误差与其引起波像差的关系 | 第104-106页 |
| 5.3.2 近似关系的精度验证 | 第106-108页 |
| 5.3.3 面形自动匹配优化方法 | 第108-112页 |
| 5.3.4 实例仿真 | 第112-113页 |
| 5.4 利用补偿面的像差补偿 | 第113-118页 |
| 5.4.1 利用补偿面的像差补偿方法 | 第114-115页 |
| 5.4.2 实例仿真 | 第115-118页 |
| 5.5 本章小结 | 第118-119页 |
| 第6章 实验型光刻物镜研制及像差补偿方法应用 | 第119-138页 |
| 6.1 光学设计 | 第119-126页 |
| 6.1.1 设计指标要求 | 第119-120页 |
| 6.1.2 初始结构选择 | 第120-122页 |
| 6.1.3 设计及优化 | 第122-123页 |
| 6.1.4 设计结果 | 第123-126页 |
| 6.2 公差分析 | 第126-128页 |
| 6.3 装配及像差补偿 | 第128-134页 |
| 6.3.1 装配方案 | 第128-129页 |
| 6.3.2 半径及厚度误差的像差补偿 | 第129-131页 |
| 6.3.3 面形自动匹配优化方法的应用 | 第131-133页 |
| 6.3.4 系统实际装配 | 第133-134页 |
| 6.4 补偿面法的探索性应用 | 第134-137页 |
| 6.5 本章小结 | 第137-138页 |
| 结论与展望 | 第138-142页 |
| 附录Fringe Zernike像差和表达式 | 第142-144页 |
| 参考文献 | 第144-153页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第153-155页 |
| 致谢 | 第155-156页 |
| 作者简介 | 第156页 |
