| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 大量程纳米测量系统的研究现状及发展趋势 | 第11-17页 |
| 1.2 大量程纳米测量系统的科学问题和技术难点 | 第17-20页 |
| 1.3 论文的研究背景和意义 | 第20-22页 |
| 1.4 论文的主要研究工作 | 第22-25页 |
| 2 纳米时栅的测量原理和数学模型 | 第25-47页 |
| 2.1 时空转换理论和时栅测量原理 | 第25-27页 |
| 2.2 纳米时栅的测量原理 | 第27-31页 |
| 2.3 纳米时栅的数学模型 | 第31-45页 |
| 2.3.1 几何模型 | 第31-33页 |
| 2.3.2 电路模型 | 第33-35页 |
| 2.3.3 电场模型 | 第35-45页 |
| 2.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 3 纳米时栅的误差理论 | 第47-63页 |
| 3.1 周期误差 | 第47-52页 |
| 3.1.1 幅值不等 | 第48-50页 |
| 3.1.2 相位非正交 | 第50-51页 |
| 3.1.3 谐波成分 | 第51-52页 |
| 3.2 大量程误差 | 第52-54页 |
| 3.3 误差模型 | 第54-62页 |
| 3.3.1 全频段误差产生的原因 | 第54-57页 |
| 3.3.2 空间信号各参量的限定条件 | 第57-59页 |
| 3.3.3 空间信号各参量与误差规律的关系 | 第59-62页 |
| 3.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 4 纳米时栅的误差修正方法和设计准则 | 第63-85页 |
| 4.1 串扰和精密制造工艺研究 | 第63-66页 |
| 4.1.1 串扰来源和影响分析 | 第63-64页 |
| 4.1.2 多层薄膜的传感结构 | 第64-66页 |
| 4.2 安装误差和实用型单列式纳米时栅研究 | 第66-70页 |
| 4.2.1 安装误差和影响分析 | 第66-67页 |
| 4.2.2 单列式纳米时栅 | 第67-68页 |
| 4.2.3 基于差动传感结构的共模抑制法 | 第68-70页 |
| 4.3 制造误差和电容式传感器的匀化特性研究 | 第70-79页 |
| 4.3.1 电极边沿粗糙度 | 第70-72页 |
| 4.3.2 电极尺寸偏差 | 第72-79页 |
| 4.4 空间谐波成分和电场特性研究 | 第79-83页 |
| 4.4.1 电场特性 | 第79-81页 |
| 4.4.2 谐波抑制方法 | 第81-83页 |
| 4.5 本章小结 | 第83-85页 |
| 5 纳米时栅的实验研究 | 第85-101页 |
| 5.1 超精密实验系统 | 第85-87页 |
| 5.2 双列式纳米时栅的串扰影响实验 | 第87-89页 |
| 5.3 单列式纳米时栅的安装影响实验 | 第89-90页 |
| 5.4 差动传感结构的共模抑制效果实验 | 第90-93页 |
| 5.4.1 共模干扰的抑制效果 | 第90-92页 |
| 5.4.2 满量程精度对比 | 第92页 |
| 5.4.3 信号稳定性对比 | 第92-93页 |
| 5.5 PCB工艺的纳米时栅性能测试实验 | 第93-96页 |
| 5.5.1 电极的微观形貌评估 | 第93-94页 |
| 5.5.2 线性度和周期重复性测试 | 第94-96页 |
| 5.5.3 满量程精度测试 | 第96页 |
| 5.6 空间谐波抑制效果实验和大量程高精度样机研制 | 第96-98页 |
| 5.6.1 测量精度对安装间隙的灵敏度测试 | 第96-98页 |
| 5.6.2 大量程高精度传感器样机 | 第98页 |
| 5.7 本章小结 | 第98-101页 |
| 6 总结与展望 | 第101-105页 |
| 6.1 总结 | 第101-102页 |
| 6.2 创新点 | 第102-103页 |
| 6.3 展望 | 第103-105页 |
| 致谢 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-115页 |
| 附录 | 第115-116页 |
| A. 作者在攻读博士学位期间发表的论文 | 第115页 |
| B. 作者在攻读博士学位期间申请的发明专利 | 第115-116页 |
| C. 作者在攻读博士学位期间参加的科研项目 | 第116页 |
| D. 作者在攻读博士学位期间参加的学术交流 | 第116页 |