| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题的来源及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 基于性能退化数据的产品可靠性国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第11页 |
| 1.3 功率 MOSFET 可靠性国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3.1 基于寿命试验的功率 MOSFET 可靠性评估国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 功率 MOSFET 失效分析国内外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3.3 功率 MOSFET 结构建模国内外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 功率 MOSFET 失效模式与失效机理分析 | 第16-27页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 功率 MOSFET 失效模式分析 | 第16-19页 |
| 2.2.1 封装结构主要失效模式 | 第16-18页 |
| 2.2.2 参数漂移失效模式 | 第18-19页 |
| 2.3 功率 MOSFET 失效机理分析 | 第19-20页 |
| 2.3.1 功率 MOSFET 热载流子注入失效机理分析 | 第19-20页 |
| 2.3.2 功率 MOSFET 超薄栅氧化层经时击穿失效机理分析 | 第20页 |
| 2.4 功率 MOSFET 性能退化参数确定 | 第20-25页 |
| 2.4.1 阈值电压失效物理模型 | 第21-22页 |
| 2.4.2 沟道电阻失效物理模型 | 第22-24页 |
| 2.4.3 性能退化参数确定 | 第24-25页 |
| 2.5 功率 MOSFET 可靠性总体研究思路 | 第25-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 功率 MOSFET 敏感参数退化建模 | 第27-41页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 功率 MOSFET 退化建模总体研究方案 | 第27-28页 |
| 3.3 功率 MOSFET 退化数据预处理 | 第28-32页 |
| 3.3.1 野值剔除 | 第28页 |
| 3.3.2 小波分析 | 第28-29页 |
| 3.3.3 平稳时间序列分析 | 第29-30页 |
| 3.3.4 数据趋势项提取方法 | 第30-32页 |
| 3.4 经典应力模型 | 第32-33页 |
| 3.4.1 温度应力模型 | 第32页 |
| 3.4.2 电应力模型 | 第32-33页 |
| 3.4.3 时间模型 | 第33页 |
| 3.5 功率 MOSFET 温度条件归一化公式 | 第33-35页 |
| 3.5.1 阈值电压温度函数 | 第34页 |
| 3.5.2 沟道电阻温度函数 | 第34-35页 |
| 3.6 阈值电压退化模型的建立 | 第35-38页 |
| 3.6.1 最优时间模型的确定 | 第35页 |
| 3.6.2 阈值电压综合应力模型 | 第35-37页 |
| 3.6.3 模型精度检验 | 第37-38页 |
| 3.7 沟道电阻退化模型的建立 | 第38-40页 |
| 3.7.1 最优时间模型的确定 | 第38页 |
| 3.7.2 沟道电阻综合应力模型 | 第38-40页 |
| 3.7.3 模型精度检验 | 第40页 |
| 3.8 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 功率 MOSFET 寿命预测及可靠性评价 | 第41-53页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 基于退化模型的寿命预测 | 第41-42页 |
| 4.3 基于支持向量机的寿命预测 | 第42-50页 |
| 4.3.1 支持向量机回归预测方法 | 第43-46页 |
| 4.3.2 支持向量机回归预测模型评价 | 第46-48页 |
| 4.3.3 基于支持向量机的功率 MOSFET 寿命预测 | 第48-50页 |
| 4.4 模型预测法与支持向量机预测法 | 第50-51页 |
| 4.5 功率 MOSFET 可靠性评价 | 第51-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 功率 MOSFET 可靠性测试系统设计 | 第53-62页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 系统总体方案设计 | 第53-55页 |
| 5.2.1 系统主要技术指标及功能 | 第53-54页 |
| 5.2.2 系统总体方案设计 | 第54-55页 |
| 5.3 系统硬件设计 | 第55-58页 |
| 5.3.1 测试电路设计 | 第55-56页 |
| 5.3.2 退化电路设计 | 第56页 |
| 5.3.3 信号调理电路设计 | 第56-58页 |
| 5.4 系统软件设计 | 第58-60页 |
| 5.4.1 下位机软件设计 | 第58-59页 |
| 5.4.2 上位机软件设计 | 第59-60页 |
| 5.5 测试系统精度检验 | 第60-61页 |
| 5.5.1 系统调试及结果 | 第60页 |
| 5.5.2 系统稳定性测试 | 第60-61页 |
| 5.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 附录 | 第68-70页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
