光刻机工件台六自由度测量系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 光刻机与工件台技术发展概况 | 第10-13页 |
| 1.2.1 光刻技术与集成电路制造业 | 第10-11页 |
| 1.2.2 光刻机工件台及其位置测量系统 | 第11-13页 |
| 1.3 超精密测量技术发展概况 | 第13-14页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 测量系统布局 | 第16-26页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 工件台位置测量系统的指标要求 | 第16-17页 |
| 2.2.1 测量系统精度要求 | 第16-17页 |
| 2.2.2 测量系统实时性要求 | 第17页 |
| 2.3 多自由度精密测量方法探究 | 第17-21页 |
| 2.3.1 基于多光束干涉法的方案 | 第18-19页 |
| 2.3.2 基于光斑位置法的方案 | 第19-20页 |
| 2.3.3 传统的光刻机工件台测量系统方案 | 第20-21页 |
| 2.4 基于双频激光干涉仪的工件台测量系统布局 | 第21-25页 |
| 2.4.1 双频激光干涉仪测量原理 | 第21-23页 |
| 2.4.2 激光干涉仪测量布局 | 第23-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 测量系统建模 | 第26-46页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 坐标系定义 | 第26-28页 |
| 3.3 激光干涉仪测量系统的全局模型 | 第28-40页 |
| 3.3.1 激光干涉仪的测量光程 | 第28-30页 |
| 3.3.2 Z 向测量轴全局模型 | 第30-36页 |
| 3.3.3 X/Y 向测量轴全局模型 | 第36-40页 |
| 3.4 误差分析与补偿 | 第40-43页 |
| 3.4.1 激光波长误差 | 第40-41页 |
| 3.4.2 镜面不平整度误差 | 第41-42页 |
| 3.4.3 数据延迟误差 | 第42-43页 |
| 3.4.4 镜头漂移误差 | 第43页 |
| 3.5 测量模型的分析与评价 | 第43-45页 |
| 3.5.1 与传统建模方法的对比分析 | 第43-44页 |
| 3.5.2 测量模型的先决条件 | 第44-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 测量模型的数值解算 | 第46-67页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 基于线性化近似的数值解算方法 | 第46-48页 |
| 4.3 线性模型及其系数的推导 | 第48-53页 |
| 4.3.1 Z 向干涉仪线性模型 | 第48-52页 |
| 4.3.2 X 向和 Y 向干涉仪线性模型 | 第52-53页 |
| 4.4 数据解算流程及相关问题 | 第53-56页 |
| 4.4.1 细化的运算流程 | 第53-54页 |
| 4.4.2 六自由度坐标的计算次序问题 | 第54-55页 |
| 4.4.3 线性模型系数的计算问题 | 第55页 |
| 4.4.4 冗余测量量的处理 | 第55-56页 |
| 4.4.5 参数的分类统筹 | 第56页 |
| 4.5 线性模型有效性的分析与验证 | 第56-66页 |
| 4.5.1 线性模型的跟踪精度验证 | 第56-65页 |
| 4.5.2 数据解算流程的实时性验证 | 第65-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 测量系统六自由度零位校准 | 第67-76页 |
| 5.1 引言 | 第67页 |
| 5.2 激光干涉仪零位校准 | 第67页 |
| 5.3 零位传感器及其测量布局 | 第67-69页 |
| 5.4 校零系统建模 | 第69-74页 |
| 5.4.1 零位传感器测量模型 | 第69-72页 |
| 5.4.2 激光干涉仪测量模型 | 第72-73页 |
| 5.4.3 激光干涉仪初始化 | 第73-74页 |
| 5.5 工件台寻找零位 | 第74-75页 |
| 5.6 校零流程 | 第75页 |
| 5.7 本章小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 附录 A | 第80-83页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
