| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·铁电体与铁电存储器的概述 | 第9-10页 |
| ·铁电存储器的发展历史和现状 | 第10-11页 |
| ·铁电存储器的分类 | 第11-13页 |
| ·破坏性读取铁电存储器 | 第11-12页 |
| ·非破坏性读取铁电存储器 | 第12-13页 |
| ·铁电场效应晶体管的存储原理 | 第13-14页 |
| ·逻辑“1”状态的读写与存储 | 第13页 |
| ·逻辑“0”状态的读写与存储 | 第13-14页 |
| ·铁电场效应晶体管的研究现状 | 第14-17页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第17-19页 |
| ·选题依据 | 第17页 |
| ·研究思路和主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 铁电场效应晶体管保持性能模型的建立 | 第19-32页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·铁电场效应晶体管栅结构的基本方程 | 第19-22页 |
| ·n 沟道铁电场效应晶体管栅结构的基本方程 | 第20-22页 |
| ·p 沟道铁电场效应晶体管栅结构的基本方程 | 第22页 |
| ·铁电场效应晶体管中铁电薄膜的退极化场 | 第22-23页 |
| ·铁电场效应晶体管中铁电极化随时间的演化 | 第23-24页 |
| ·铁电场效应晶体管的保持性能模型 | 第24-25页 |
| ·n 沟道铁电场效应晶体管漏极电流随时间的演化关系 | 第24-25页 |
| ·p 沟道铁电场效应晶体管漏极电流随时间的演化关系 | 第25页 |
| ·铁电场效应晶体管保持性能的模拟 | 第25-31页 |
| ·n 沟道铁电场效应晶体管保持性能的模拟 | 第25-29页 |
| ·p 沟道铁电场效应晶体管保持性能的模拟 | 第29-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第3章 电学参数和材料参数对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第32-58页 |
| ·保持偏压对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第32-36页 |
| ·衬底类型和掺杂浓度对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第36-41页 |
| ·衬底类型对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第37页 |
| ·衬底掺杂浓度对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第37-41页 |
| ·绝缘层厚度和介电常数对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第41-44页 |
| ·铁电薄膜的各参数对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第44-53页 |
| ·铁电薄膜厚度对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第44-46页 |
| ·铁电薄膜介电常数对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第46-48页 |
| ·铁电薄膜激活场对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第48-49页 |
| ·铁电薄膜极化的初始值对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第49-53页 |
| ·栅电极功函数对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第53-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第4章 铁电-电极界面对铁电场效应晶体管保持性能的影响 | 第58-67页 |
| ·铁电-电极界面作为死层的影响 | 第58-60页 |
| ·铁电-电极界面作为阈值电导型绝缘层的影响 | 第60-64页 |
| ·铁电-电极接触势的影响 | 第64-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第5章 结论与展望 | 第67-69页 |
| ·结论 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读学位期间发表论文目录 | 第79页 |
