| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-17页 |
| 第1章 绪论 | 第17-34页 |
| ·课题的背景及其意义 | 第17-20页 |
| ·基于硅工艺的定位平台国内外研究现状 | 第20-31页 |
| ·平台加工方法的研究现状 | 第20-21页 |
| ·平台机构形式的研究现状 | 第21-24页 |
| ·驱动方式的研究现状 | 第24-29页 |
| ·位移检测方式的研究现状 | 第29-31页 |
| ·控制方式的研究现状 | 第31页 |
| ·基于体硅工艺的侧壁压阻加工技术研究现状 | 第31-32页 |
| ·课题来源和本文主要研究内容 | 第32-34页 |
| ·课题来源 | 第32页 |
| ·本文主要研究内容 | 第32-34页 |
| 第2章 硅基集成式微型XY定位平台的设计研究 | 第34-69页 |
| ·集成式XY定位平台的总体设计及工作原理 | 第34-36页 |
| ·静电梳齿驱动器的建模与设计分析 | 第36-46页 |
| ·静电驱动器的致动机理及机电耦合特性 | 第36-38页 |
| ·静电驱动器的动态失效模型 | 第38-45页 |
| ·静电梳齿结构设计 | 第45-46页 |
| ·柔性支撑梁及传感器检测梁的建模与设计分析 | 第46-53页 |
| ·柔性支撑梁结构设计 | 第46-51页 |
| ·传感器弹性检测梁结构设计 | 第51-53页 |
| ·绝缘结构设计分析 | 第53-54页 |
| ·静电驱动器之间的绝缘 | 第53-54页 |
| ·压阻之间的绝缘 | 第54页 |
| ·集成式XY定位平台刚度及位移建模分析 | 第54-57页 |
| ·定位平台刚度模型 | 第54-55页 |
| ·定位平台位移模型 | 第55-57页 |
| ·集成式XY 定位平台的有限元设计分析 | 第57-62页 |
| ·集成式XY定位平台动态特性分析 | 第62-68页 |
| ·空气阻尼效应 | 第62-65页 |
| ·定位平台动态特性的研究 | 第65-67页 |
| ·定位平台的固有频率 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第3章 基于体硅工艺侧壁压阻式位移传感器的研究 | 第69-84页 |
| ·传感器工作原理 | 第69-73页 |
| ·单晶硅压阻效应 | 第69-72页 |
| ·传感器检测原理 | 第72-73页 |
| ·弹性检测梁力学分析 | 第73-75页 |
| ·压阻布置及引线的设计分析 | 第75-77页 |
| ·压阻布置 | 第75-77页 |
| ·压阻引线设计 | 第77页 |
| ·位移传感器的输出分析 | 第77-78页 |
| ·传感器关键性能指标的分析 | 第78-79页 |
| ·传感器的灵敏度 | 第78页 |
| ·传感器的分辨率 | 第78-79页 |
| ·检测压阻参数的优化设计 | 第79-83页 |
| ·检测压阻条厚度 | 第80-81页 |
| ·检测压阻条长度 | 第81-82页 |
| ·检测压阻条宽度 | 第82页 |
| ·检测压阻工艺参数 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第4章 硅基集成式微型XY定位平台制作工艺 | 第84-104页 |
| ·基于体硅工艺的集成式XY定位平台工艺制作 | 第84-93页 |
| ·基本硅微机械制作工艺介绍 | 第84-89页 |
| ·集成式XY定位平台制作工艺分析 | 第89-93页 |
| ·集成式XY定位平台关键工艺及实现方法的研究 | 第93-99页 |
| ·背面释放窗口DRIE刻蚀 | 第93-96页 |
| ·DRIE中的背片工艺 | 第96-97页 |
| ·基于DRIE的二次结构释放技术 | 第97-99页 |
| ·划片及器件的后处理 | 第99页 |
| ·基于体硅工艺侧壁表面压阻加工技术的研究 | 第99-102页 |
| ·样品器件研制 | 第102-103页 |
| ·本章小结 | 第103-104页 |
| 第5章 硅基集成式微型XY定位平台驱动与控制的研究 | 第104-123页 |
| ·微型XY定位平台驱动与控制系统 | 第104页 |
| ·静电驱动电源的研制 | 第104-111页 |
| ·驱动电源总体构成 | 第105-106页 |
| ·可调放大电路设计 | 第106-107页 |
| ·接口电路设计 | 第107-108页 |
| ·实验研究 | 第108-111页 |
| ·硅基集成式微型XY定位平台力电耦合建模 | 第111-115页 |
| ·集成式XY定位平台的等效质量模型 | 第111-112页 |
| ·集成式XY定位平台的数学模型 | 第112-115页 |
| ·单神经元自适应PID控制器设计 | 第115-120页 |
| ·控制策略仿真分析 | 第120-122页 |
| ·开环控制系统仿真分析 | 第120-121页 |
| ·闭环控制系统仿真分析 | 第121-122页 |
| ·控制方式比较 | 第122页 |
| ·本章小结 | 第122-123页 |
| 第6章 定位系统性能测试与实验研究 | 第123-137页 |
| ·实验测试系统设计 | 第123-127页 |
| ·实验测试系统组成 | 第123-124页 |
| ·控制系统总体结构 | 第124-127页 |
| ·定位系统的性能测试与实验研究 | 第127-136页 |
| ·系统的固有频率测试 | 第127-129页 |
| ·定位平台位移测试 | 第129-130页 |
| ·位移耦合测试 | 第130-131页 |
| ·定位平台分辨率测试 | 第131-133页 |
| ·位移传感器性能测试 | 第133-135页 |
| ·基于单神经元自适应PID闭环控制实验研究 | 第135页 |
| ·定位系统重复定位精度测试 | 第135-136页 |
| ·本章小结 | 第136-137页 |
| 结论 | 第137-139页 |
| 参考文献 | 第139-150页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第150-153页 |
| 致谢 | 第153-154页 |
| 个人简历 | 第154页 |