| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| ·GaN 材料及常规GaN 基异质结构HEMT 器件特性 | 第12-13页 |
| ·常规GaN 基HEMT 器件的研究进展 | 第13-14页 |
| ·GaN 基双异质结构及其HEMT 器件的研究进展 | 第14-16页 |
| ·本文主要工作 | 第16-18页 |
| 第二章 GaN 基双异质结构相关理论 | 第18-26页 |
| ·GaN 基异质结构2DEG 理论 | 第18-22页 |
| ·GaN 基双异质结构 | 第22-25页 |
| ·Al_xGa_(1-x)N/GaN/Al_yGa_(1-y)N/GaN 双异质结构 | 第22-23页 |
| ·Al_xGa_(1-x)N/GaN/Al_yGa_(1-y)N 双异质结构 | 第23-24页 |
| ·AlGaN/GaN/InGaN/GaN 双异质结构 | 第24-25页 |
| ·总结 | 第25-26页 |
| 第三章 GaN 双异质结构材料的生长与表征 | 第26-46页 |
| ·Al_xGa_(1-x)N/GaN/Al_yGa_(1-y)N/GaN 结构 | 第26-31页 |
| ·模拟仿真 | 第26-28页 |
| ·AlGaN/GaN/AlGaN/GaN 异质结构材料的结构设计及生长 | 第28-29页 |
| ·AlGaN/GaN/AlGaN/GaN 异质结构材料的表征 | 第29-31页 |
| ·Al_xGa_(1-x)N/GaN/Al_yGa_(1-y)N 结构 | 第31-35页 |
| ·模拟仿真 | 第31-33页 |
| ·Al_xGa_(1-x)N/GaN/Al_yGa_(1-y)N 异质结构材料的设计及生长 | 第33页 |
| ·Al_xGa_(1-x)N/GaN/Al_yGa_(1-y)N 异质结构材料的表征 | 第33-35页 |
| ·AlGaN/GaN/InGaN/GaN 结构 | 第35-40页 |
| ·InGaN 生长研究 | 第35-37页 |
| ·AlGaN/GaN/InGaN/GaN 模拟仿真 | 第37-38页 |
| ·AlGaN/GaN/InGaN/GaN 异质结构材料的结构设计及生长 | 第38-39页 |
| ·AlGaN/GaN/InGaN/GaN 异质结构材料的表征 | 第39-40页 |
| ·Al_(0.3)GaN0.7/GaN 双异质结构 | 第40-42页 |
| ·Al0.45GaN0.55/GaN 双异质结构 | 第42-45页 |
| ·模拟仿真 | 第42-43页 |
| ·生长及表征 | 第43-45页 |
| ·总结 | 第45-46页 |
| 第四章 GaN 基双异质结构器件性能分析 | 第46-62页 |
| ·GaN 基双异质结构HEMT 器件制备 | 第46-47页 |
| ·HEMT 器件制造工艺 | 第46页 |
| ·HEMT 器件制造 | 第46-47页 |
| ·AlGaN/GaN 双异质结转移特性 | 第47-49页 |
| ·AlGaN/GaN 双异质结构高温特性 | 第49-58页 |
| ·AlGaN/GaN 异质结构高温特性模拟仿真 | 第49-51页 |
| ·AlGaN/GaN 基异质结构高温CV 特性 | 第51-56页 |
| ·AlGaN/GaN 基双异质结构HEMT 高温特性 | 第56-58页 |
| ·AlGaN/GaN 双异质结构击穿特性 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第60-62页 |
| 第五章 结论 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 攻读硕士期间研究成果 | 第72-74页 |
