| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·课题背景及意义 | 第9页 |
| ·真空镀膜设备概述 | 第9-15页 |
| ·真空镀膜技术分类 | 第10页 |
| ·真空镀膜技术原理 | 第10-15页 |
| ·控制系统概述 | 第15-19页 |
| ·Opto 22控制系统 | 第16-19页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第19-20页 |
| ·PLC电气控制系统 | 第19页 |
| ·工艺参数的精确控制 | 第19-20页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 镀膜设备控制系统开发方案 | 第21-37页 |
| ·PECVD设备结构介绍 | 第21-22页 |
| ·PECVD镀膜设备结构的分析 | 第22-24页 |
| ·PECVD工艺参数研究 | 第24-30页 |
| ·温度对氮化硅薄膜影响研究 | 第24-29页 |
| ·PECVD工艺过程 | 第29-30页 |
| ·控制系统总体方案 | 第30-35页 |
| ·数字输出量及其各个元件的功能 | 第32-33页 |
| ·模拟量及其各个元件的功能 | 第33-34页 |
| ·数字输入量及其各个元件的功能 | 第34-35页 |
| ·脉冲量 | 第35页 |
| ·小结 | 第35-37页 |
| 第3章 控制级系统硬件连接图 | 第37-49页 |
| ·OPTO 22介绍 | 第37-38页 |
| ·OPTO 22的结构图介绍 | 第38-41页 |
| ·SNAP-LCSX AND LCSX-PLUS的介绍 | 第38-39页 |
| ·连接数字量和模拟量的B3000和BRS结构 | 第39-41页 |
| ·B3000和BRS介绍 | 第41-48页 |
| ·B3000的功能和原理 | 第41页 |
| ·BRS的功能和原理 | 第41页 |
| ·硬件连接图 | 第41-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第4章 装、卸载控制系统 | 第49-63页 |
| ·伺服电机介绍 | 第49页 |
| ·控制位置的交流伺服电机 | 第49-51页 |
| ·闭环伺服驱动系统的执行元件 | 第49-50页 |
| ·闭环伺服驱动系统的测量元件 | 第50-51页 |
| ·限位开关 | 第51-52页 |
| ·沈科仪装卸载控制系统 | 第52-58页 |
| ·伺服电机控制模式的设置 | 第52-55页 |
| ·伺服电机驱动器参数的设置 | 第55-56页 |
| ·用脉冲方式控制伺服电机的优缺点 | 第56页 |
| ·装、卸载台的结构及控制系统的原理 | 第56-58页 |
| ·装、卸载控制流程图 | 第58页 |
| ·解析流程图 | 第58-60页 |
| ·程序流程图 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61-63页 |
| 第5章 结论与展望 | 第63-65页 |
| ·结论 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |