图像拼接在相移显微干涉测量微结构表面形貌的应用研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·MEMS 的发展概况及其测试技 | 第7-11页 |
| ·MEMS 的发展概况 | 第7-9页 |
| ·MEMS 的测试技术 | 第9-11页 |
| ·图像拼接技术的国内外发展 | 第11-13页 |
| ·图像拼接模式 | 第11-12页 |
| ·图像拼接方法 | 第12-13页 |
| ·课题研究的主要目的和内容 | 第13-15页 |
| 第二章 微表面形貌的图像拼接方法 | 第15-28页 |
| ·微表面形貌图像的拼接策略 | 第15-17页 |
| ·平面相对位置的确定 | 第15-16页 |
| ·拼接中的误差分析 | 第16-17页 |
| ·微表面形貌图像拼接流程 | 第17页 |
| ·平面位置的匹配 | 第17-24页 |
| ·块匹配准则法 | 第18-19页 |
| ·改进的块匹配准则法 | 第19-21页 |
| ·数字相关法 | 第21-23页 |
| ·相位相关法 | 第23-24页 |
| ·离面偏差的修正 | 第24-28页 |
| ·基准坐标的确定 | 第25页 |
| ·坐标系的统一 | 第25-27页 |
| ·穷举搜索法对准 | 第27-28页 |
| 第三章 相移显微干涉测量的图像拼接实验系统 | 第28-46页 |
| ·相移显微干涉测试原理 | 第28-38页 |
| ·干涉显微镜 | 第28-30页 |
| ·相移干涉技术 | 第30-37页 |
| ·相位展开技术 | 第37-38页 |
| ·相移显微干涉测试系统 | 第38-40页 |
| ·扫描定位系统 | 第40-46页 |
| ·扫描定位工作平台 | 第40-42页 |
| ·脉冲源的输出控制 | 第42-43页 |
| ·MSP430F149 单片机的外围电路 | 第43页 |
| ·MSP430F149 单片机的串口通讯 | 第43-44页 |
| ·MSP430F149 单片机的软件设置 | 第44-46页 |
| 第四章 实验及其分析 | 第46-60页 |
| ·系统的测试实验 | 第46-49页 |
| ·子区域的单次测量 | 第46-48页 |
| ·扫描拼接测试 | 第48-49页 |
| ·曲面的对比实验 | 第49-51页 |
| ·重叠度的影响分析 | 第51-52页 |
| ·MEMS 器件的拼接测量实验 | 第52-60页 |
| ·悬臂梁的拼接测量 | 第52-56页 |
| ·梳齿谐振器的拼接测量 | 第56-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
