| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 高压LDMOS器件的应用 | 第9-12页 |
| 1.2 600V高压LDMOS器件的热载流子可靠性问题 | 第12页 |
| 1.3 600V高压LDMOS器件的热载流子可靠性研究现状 | 第12-15页 |
| 1.4 本文的研究目标及主要章节安排 | 第15-17页 |
| 第二章 600V高压LDMOS基本特性及热载流子退化研究方法 | 第17-27页 |
| 2.1 600V高压LDMOS的基本结构与工艺 | 第17页 |
| 2.2 600V高压LDMOS的基本性能参数 | 第17-20页 |
| 2.3 热载流子效应研究的主要技术手段 | 第20-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 600V高压LDMOS热载流子退化机理研究 | 第27-55页 |
| 3.1 600V高压LDMOS在直流应力下的热载流子退化机理研究 | 第27-31页 |
| 3.2 600V高压LDMOS在交流应力下的热载流子退化机理研究 | 第31-35页 |
| 3.3 不同栅脉冲上升下降时间对HCI特性的影响 | 第35-36页 |
| 3.4 不同栅脉冲占空比对HCI特性的影响 | 第36-37页 |
| 3.5 不同栅脉冲频率对HCI特性的影响 | 第37-39页 |
| 3.6 不同结构参数下对器件HCI特性的影响 | 第39-46页 |
| 3.7 不同温度下的热载流子退化机理 | 第46-48页 |
| 3.8 高热载流子可靠性600V高压LDMOS器件优化设计 | 第48-54页 |
| 3.9 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 600V高压LDMOS器件的热载流子退化寿命模型研究 | 第55-63页 |
| 4.1 600V高压LDMOS的热载流子退化寿命建模 | 第55-57页 |
| 4.2 600V高压LDMOS寿命模型参数的提取 | 第57-60页 |
| 4.3 600V高压LDMOS寿命模型的验证 | 第60-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 总结 | 第63-64页 |
| 5.2 展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 硕士期间取得成果 | 第71页 |
