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触针式轮廓仪传感器静态及动态特性检定系统研制

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-14页
    1.1 本课题的目的与意义第9-10页
    1.2 触针式轮廓仪及触针对测量的影响研究的发展概况第10-12页
    1.3 本文的主要工作第12-13页
    1.4 课题来源第13-14页
2 检定系统总体设计第14-20页
    2.1 系统指标选取第14-17页
    2.2 系统实施方案第17-18页
    2.3 系统检定过程第18-19页
    2.4 本章小结第19-20页
3 位移驱动单元结构设计第20-37页
    3.1 驱动方案选择第20-21页
    3.2 静态位移驱动装置结构设计第21-28页
    3.3 动态位移驱动装置结构设计第28-32页
    3.4 部分零部件选型第32-36页
    3.5 本章小结第36-37页
4 位移测量单元设计第37-47页
    4.1 测量方案选择第37页
    4.2 光栅衍射光干涉测量光路设计第37-43页
    4.3 位移测量单元结构设计第43-44页
    4.4 光学器件选型第44-46页
    4.5 本章小结第46-47页
5 系统软件第47-57页
    5.1 系统软件流程第47页
    5.2 软件框架设计第47-49页
    5.3 软件功能及界面第49-56页
    5.4 本章小结第56-57页
6 实验测试第57-69页
    6.1 标定仪器选择第57-58页
    6.2 示值稳定性测试第58-59页
    6.3 静态精度测试第59-64页
    6.4 动态精度测试第64-68页
    6.5 本章小结第68-69页
7 全文总结与展望第69-71页
    7.1 全文总结第69页
    7.2 今后工作的展望第69-71页
致谢第71-72页
参考文献第72-75页
附录Ⅰ攻读硕士学位期间发表的论文和专利第75-76页
附表第76-85页

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