| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 本课题的目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 触针式轮廓仪及触针对测量的影响研究的发展概况 | 第10-12页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第12-13页 |
| 1.4 课题来源 | 第13-14页 |
| 2 检定系统总体设计 | 第14-20页 |
| 2.1 系统指标选取 | 第14-17页 |
| 2.2 系统实施方案 | 第17-18页 |
| 2.3 系统检定过程 | 第18-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 3 位移驱动单元结构设计 | 第20-37页 |
| 3.1 驱动方案选择 | 第20-21页 |
| 3.2 静态位移驱动装置结构设计 | 第21-28页 |
| 3.3 动态位移驱动装置结构设计 | 第28-32页 |
| 3.4 部分零部件选型 | 第32-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 位移测量单元设计 | 第37-47页 |
| 4.1 测量方案选择 | 第37页 |
| 4.2 光栅衍射光干涉测量光路设计 | 第37-43页 |
| 4.3 位移测量单元结构设计 | 第43-44页 |
| 4.4 光学器件选型 | 第44-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 5 系统软件 | 第47-57页 |
| 5.1 系统软件流程 | 第47页 |
| 5.2 软件框架设计 | 第47-49页 |
| 5.3 软件功能及界面 | 第49-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 6 实验测试 | 第57-69页 |
| 6.1 标定仪器选择 | 第57-58页 |
| 6.2 示值稳定性测试 | 第58-59页 |
| 6.3 静态精度测试 | 第59-64页 |
| 6.4 动态精度测试 | 第64-68页 |
| 6.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 7 全文总结与展望 | 第69-71页 |
| 7.1 全文总结 | 第69页 |
| 7.2 今后工作的展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录Ⅰ攻读硕士学位期间发表的论文和专利 | 第75-76页 |
| 附表 | 第76-85页 |