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基于金属氧化物半导体的微纳传感器制备及其性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第14-28页
    1.1 研究背景和研究意义第14-18页
    1.2 湿敏传感器概述第18-19页
    1.3 气敏传感器概述第19-21页
    1.4 生物传感器概述第21-25页
    1.5 本文基本内容第25-28页
第二章 基于单根纳米线场效应晶体管的湿度传感器性能研究第28-50页
    2.1 引言第28-29页
    2.2 SnO_2:Sb纳米线制备方法与表征第29-34页
        2.2.1 纳米线制备基本方法第29-31页
        2.2.2 纳米线表征第31-34页
    2.3 SnO_2:Sb单根纳米线场效应晶体管制备与性能测试第34-44页
        2.3.1 单根纳米线场效应晶体管制备工艺第34-40页
        2.3.2 器件测试与讨论第40-44页
    2.4 SnO_2:Sb单根纳米线场效应晶体管在湿度传感中的应用第44-48页
        2.4.1 SnO_2:Sb单根纳米线场效应晶体管对湿度的响应第44-47页
        2.4.2 SnO_2:Sb单根纳米线晶体管在湿度传感应用中的机理解释第47-48页
    2.5 本章小结第48-50页
第三章 基于Ni(SO_4)_(0.3)(OH)_(1.4) 纳米线的电阻式湿度传感器性能研究第50-67页
    3.1 引言第50-51页
    3.2 Ni(SO_4)_(0.3)(OH)_(1.4) 纳米带制备方法与表征第51-53页
        3.2.1 纳米带制备方法第51-52页
        3.2.2 纳米带表征第52-53页
    3.3 Ni(SO_4)_(0.3)(OH)_(1.4) 纳米带湿度传感器制备与性能测试第53-58页
        3.3.1 湿敏元件的制备与测试第53-55页
        3.3.2 器件测试与讨论第55-58页
    3.4 Ni(SO_4)_(0.3)(OH)_(1.4) 纳米带器件在湿度传感中的应用第58-65页
        3.4.1 Ni(SO_4)_(0.3)(OH)_(1.4) 纳米带器件对湿度的响应第58-64页
        3.4.2 Ni(SO_4)_(0.3)(OH)_(1.4) 纳米带器件对湿度响应的机理解释第64-65页
    3.5 本章小结第65-67页
第四章 基于SnO_2纳米线旁热式气敏传感器性能研究第67-77页
    4.1 引言第67-68页
    4.2 基于纳米线气敏传感器的制备第68-70页
    4.3 气敏传感器测试性能第70-75页
    4.4 气敏测试性能原理分析第75-76页
    4.5 本章小结第76-77页
第五章 基于ITO薄膜晶体管对禽流感H5N1病毒检测的生物传感器性能研究第77-95页
    5.1 引言第77-78页
    5.2 ITO薄膜晶体管制备和生物试剂修饰第78-82页
        5.2.1 ITO薄膜晶体管制备第78-80页
        5.2.2 生物试剂准备第80-81页
        5.2.3 ITO薄膜晶体管表面修饰第81-82页
    5.3 ITO薄膜晶体管性能测试第82页
    5.4 ITO薄膜晶体管在生物传感器中的应用第82-93页
    5.5 本章小结第93-95页
结论与展望第95-97页
参考文献第97-113页
致谢第113-115页
附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录第115页

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