| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 石墨烯 | 第11-16页 |
| 1.2.1 石墨烯的晶体结构 | 第11页 |
| 1.2.2 石墨烯的基本性质 | 第11-12页 |
| 1.2.3 石墨烯的主要制备方法 | 第12-16页 |
| 1.3 氮化镓 | 第16-19页 |
| 1.3.1 氮化镓的晶体结构 | 第16页 |
| 1.3.2 氮化镓的制备方法 | 第16-17页 |
| 1.3.3 氮化镓晶体中的位错 | 第17-19页 |
| 1.4 石墨烯/氮化镓异质结的应用前景 | 第19-21页 |
| 1.5 课题研究现状 | 第21-22页 |
| 1.6 论文的工作安排 | 第22-24页 |
| 第二章 石墨烯以及氮化镓的结构表征技术 | 第24-33页 |
| 2.1 光学显微镜 | 第24-25页 |
| 2.2 电子显微镜 | 第25-27页 |
| 2.3 拉曼光谱 | 第27-30页 |
| 2.4 原子力显微镜 | 第30-32页 |
| 2.5 X射线衍射 | 第32-33页 |
| 第三章 石墨烯以及石墨烯上氮化镓的生长与分析 | 第33-47页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 实验方法和样品制备 | 第33-39页 |
| 3.2.1 CVD法石墨烯的生长 | 第34-36页 |
| 3.2.2 石墨烯的转移过程 | 第36-38页 |
| 3.2.3 石墨烯上氮化镓薄膜的生长 | 第38-39页 |
| 3.3 结果和讨论 | 第39-46页 |
| 3.3.1 石墨烯表征结果 | 第39-41页 |
| 3.3.2 石墨烯上氮化镓的形貌与晶体质量表征 | 第41-44页 |
| 3.3.3 样品中石墨烯的探测和表征 | 第44-46页 |
| 3.4 小结 | 第46-47页 |
| 第四章 石墨烯/氮化镓薄膜的TEM分析及拉曼光谱对应力的研究 | 第47-60页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 实验方法和样品制备 | 第47-51页 |
| 4.2.1 TEM分析氮化镓材料位错 | 第47-50页 |
| 4.2.2 拉曼表征氮化镓应力方法 | 第50-51页 |
| 4.3 结果和讨论 | 第51-59页 |
| 4.3.1 MO-GaN衬底的位错分析 | 第51-54页 |
| 4.3.2 石墨烯上氮化镓样品的TEM分析 | 第54-56页 |
| 4.3.3 石墨烯对氮化镓样品的应力的影响 | 第56-59页 |
| 4.4 小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 实验结果与结论 | 第60-61页 |
| 5.2 今后工作展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |