基于电磁驱动的倒装机键合装置设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第8-13页 |
| 1.2 VCM基本原理介绍 | 第13-14页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 倒装机键合装置结构设计 | 第16-22页 |
| 2.1 倒装机键合装置介绍 | 第16-17页 |
| 2.2 键合装置设计 | 第17-21页 |
| 2.2.1 键合装置的结构 | 第18-19页 |
| 2.2.2 电磁驱动装置的结构 | 第19页 |
| 2.2.3 键合头的结构 | 第19-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 倒装机键合装置电磁场分析 | 第22-42页 |
| 3.1 电磁场理论 | 第22-30页 |
| 3.1.1 Maxwell方程组 | 第22-23页 |
| 3.1.2 磁位及其偏微分方程 | 第23-25页 |
| 3.1.3 边界条件和边值问题—定解条件 | 第25-27页 |
| 3.1.4 磁场能量与电磁力 | 第27-30页 |
| 3.2 电磁驱动装置电磁场数值分析 | 第30-41页 |
| 3.2.1 JMAG-Designer简介 | 第30-32页 |
| 3.2.2 JMAG-Designer分析过程 | 第32-38页 |
| 3.2.3 电磁驱动装置电磁场计算结果 | 第38-39页 |
| 3.2.4 电磁驱动装置优化设计方案 | 第39-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 倒装机键合装置温度场分析 | 第42-52页 |
| 4.1 温度场理论 | 第42-45页 |
| 4.1.1 稳态导热基本定律 | 第42-43页 |
| 4.1.2 导热微分方程 | 第43-44页 |
| 4.1.3 温度场单值性条件 | 第44-45页 |
| 4.1.4 三维稳态温度场边值问题 | 第45页 |
| 4.2 热变形理论 | 第45-46页 |
| 4.3 电磁驱动装置温度场数值分析 | 第46-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
