基于MEMS技术的质点振速传感器的研制
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第13-17页 |
| 1.1 概述 | 第13-14页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第14-16页 |
| 1.3 课题研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 2 质点振速传感器的设计 | 第17-28页 |
| 2.1 质点振速传感器的原理 | 第17-21页 |
| 2.1.1 微流量测量原理 | 第17-20页 |
| 2.1.2 质点振速的测量原理 | 第20-21页 |
| 2.2 质点振速传感器的几何结构设计 | 第21-23页 |
| 2.3 质点振速传感器的工作参数设计 | 第23-27页 |
| 2.3.1 热丝特性分析 | 第23-25页 |
| 2.3.2 热丝工作参数 | 第25-26页 |
| 2.3.3 质点振速传感器的频率特性 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 MEMS芯片的加工工艺 | 第28-36页 |
| 3.1 MEMS技术 | 第28-29页 |
| 3.1.1 表面微机械加工技术 | 第28页 |
| 3.1.2 体硅微制造技术 | 第28-29页 |
| 3.1.3 LIGA技术 | 第29页 |
| 3.2 MEMS制作工艺流程 | 第29-30页 |
| 3.3 关键工艺研究 | 第30-35页 |
| 3.3.1 光刻工艺 | 第30-33页 |
| 3.3.2 剥离 | 第33页 |
| 3.3.3 湿法腐蚀 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 质点振速传感器信号处理电路 | 第36-53页 |
| 4.1 电路噪声分析 | 第36-38页 |
| 4.1.1 噪声源 | 第36-37页 |
| 4.1.2 基本噪声模型 | 第37-38页 |
| 4.2 信号转换电路 | 第38-48页 |
| 4.2.1 温差测量方法 | 第38-39页 |
| 4.2.2 信号转换电路方案 | 第39-43页 |
| 4.2.3 电桥结构的噪声计算与仿真 | 第43-48页 |
| 4.3 前置放大电路设计 | 第48-50页 |
| 4.3.1 前置放大电路的设计原则 | 第48页 |
| 4.3.2 前置放大电路设计 | 第48-50页 |
| 4.4 电路的实现 | 第50-51页 |
| 4.4.1 电路元器件的选择 | 第50页 |
| 4.4.2 电路的结构 | 第50-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 5 质点振速传感器测试方法与测量结果 | 第53-60页 |
| 5.1 灵敏度测量方法 | 第53-58页 |
| 5.1.1 驻波管法测量原理 | 第53-56页 |
| 5.1.2 驻波管法测量装置 | 第56-58页 |
| 5.1.3 驻波管法验证 | 第58页 |
| 5.2 测量结果 | 第58-59页 |
| 5.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 总结 | 第60-61页 |
| 6.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 作者简历 | 第65页 |
