蓝宝石光纤黑体腔高温传感器的研究
摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4页 |
第1章 绪论 | 第8-12页 |
1.1 课题研究的背景和意义 | 第8页 |
1.2 蓝宝石光纤高温传感技术研究现状 | 第8-10页 |
1.3 本文的主要内容及创新点 | 第10页 |
1.4 本文的结构安排 | 第10-12页 |
第2章 传感器测温的基本理论 | 第12-17页 |
2.1 黑体辐射的基本理论 | 第12-13页 |
2.2 传感器的结构与原理 | 第13-14页 |
2.3 蓝宝石光纤的特性 | 第14-15页 |
2.4 大芯径石英光纤的特性 | 第15-17页 |
第3章 传感器感温腔的分析与设计 | 第17-25页 |
3.1 理论分析方法 | 第17-18页 |
3.2 有限元分析方法 | 第18-20页 |
3.2.1 分析模型 | 第18-19页 |
3.2.2 分析过程 | 第19-20页 |
3.3 有限元分析结果 | 第20-24页 |
3.3.1 腔底的形状 | 第20页 |
3.3.2 腔体材料的表面发射率 | 第20-21页 |
3.3.3 腔体的长度 | 第21-22页 |
3.3.4 腔体等温度 | 第22页 |
3.3.5 腔体不等温度 | 第22-24页 |
3.4 有限元分析总结 | 第24-25页 |
第4章 传感器探头的制作 | 第25-39页 |
4.1 感温腔体的材料选择 | 第25-26页 |
4.2 感温腔体的制作 | 第26-34页 |
4.2.1 磁控溅射的原理 | 第26-27页 |
4.2.2 溅射设备介绍 | 第27-29页 |
4.2.3 靶材的选择 | 第29页 |
4.2.4 制备的流程 | 第29-31页 |
4.2.5 制备的结果 | 第31-34页 |
4.3 光纤的耦合 | 第34-37页 |
4.3.1 耦合方法 | 第34-35页 |
4.3.2 光纤的研抛 | 第35-37页 |
4.4 传感器的封装保护 | 第37-39页 |
第5章 传感器的温度特性 | 第39-44页 |
5.1 传感器信号的光谱分布 | 第39-41页 |
5.1.1 实验方法 | 第39-40页 |
5.1.2 实验结果 | 第40-41页 |
5.2 传感器的高温传感特性 | 第41-44页 |
5.2.1 实验方法 | 第41页 |
5.2.2 实验结果 | 第41-44页 |
第6章 总结 | 第44-45页 |
附录 | 第45-46页 |
参考文献 | 第46-49页 |
在读期间发表的学术论文及研究成果 | 第49-50页 |
致谢 | 第50页 |