| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-11页 |
| 1.1 光纤传感器的概述 | 第7页 |
| 1.1.1 光纤传感器的原理与分类 | 第7页 |
| 1.1.2 光纤法布里-珀罗传感器的分类 | 第7页 |
| 1.2 膜片式光纤压力传感器的研究现状 | 第7-9页 |
| 1.2.1 光纤EFPI传感器的发展现状 | 第7-8页 |
| 1.2.2 膜片式光纤EFPI传感器的研究现状 | 第8-9页 |
| 1.3 课题来源及本文研究内容、意义 | 第9-11页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.3.2 本文的研究目的和意义 | 第9页 |
| 1.3.3 本文的主要研究内容 | 第9-11页 |
| 第2章 法布里-珀罗压力传感器的基本原理 | 第11-21页 |
| 2.1 光纤传感器理论基础 | 第11-15页 |
| 2.1.1 Fabry-Perot压力传感器的干涉原理 | 第11-15页 |
| 2.2 法布里-珀罗光纤传感器的解调原理 | 第15-20页 |
| 2.2.1 波长解调法 | 第15-17页 |
| 2.2.2 强度解调法 | 第17-18页 |
| 2.2.3 相位解调法 | 第18-20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 波纹膜片式法布里-珀罗压力传感器的制作 | 第21-26页 |
| 3.1 膜片式光纤传感器的结构 | 第21页 |
| 3.2 材料的选择 | 第21-23页 |
| 3.3 传感器的制作方法 | 第23页 |
| 3.4 腔深对传感器压力测量性能的影响 | 第23-24页 |
| 3.5 传感器分辨率分析 | 第24-25页 |
| 3.6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第4章 波纹膜片式压力传感器的仿真实验 | 第26-32页 |
| 4.1 波纹膜片的结构 | 第26页 |
| 4.2 敏感膜的仿真讨论及优化 | 第26-31页 |
| 4.2.1 工艺步骤及材料参数设置 | 第26-27页 |
| 4.2.2 波纹膜片三维图及网格划分 | 第27页 |
| 4.2.3 仿真结果 | 第27-28页 |
| 4.2.4 传感器不同压力下的模态分析 | 第28-31页 |
| 4.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第5章 波膜片式法珀传感器的实验 | 第32-44页 |
| 5.1 压力测试及实验结果 | 第32-41页 |
| 5.1.1 压力测试系统 | 第32页 |
| 5.1.2 压力传感器解调原理 | 第32-36页 |
| 5.1.3 压力测试结果和分析 | 第36-41页 |
| 5.2 温度敏感性测试及实验结果 | 第41-43页 |
| 5.2.1 温度敏感性测试系统 | 第41-42页 |
| 5.2.2 温度敏感性测试结果分析 | 第42-43页 |
| 5.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第6章 结论 | 第44-46页 |
| 6.1 本文主要工作及结论 | 第44页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 在读期间研究成果 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50页 |