高固有频率加速度敏感结构设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·加速度传感器发展现状及局限性 | 第9-12页 |
| ·研究目的和意义 | 第12页 |
| ·本文主要工作 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 第2章 加速度敏感结构工作原理 | 第14-20页 |
| ·压阻效应 | 第14-15页 |
| ·MEMS 加速度传感器基本原理 | 第15-17页 |
| ·带有微梁的加速度敏感结构工作原理 | 第17-18页 |
| ·多晶硅纳米薄膜特性 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 带有微梁的敏感结构优化设计 | 第20-32页 |
| ·支撑梁厚度和微梁厚度仿真 | 第20-27页 |
| ·微梁长度和宽度仿真 | 第27-28页 |
| ·交叉耦合仿真分析 | 第28页 |
| ·微梁长度与 M 值的变化关系 | 第28-29页 |
| ·讨论 | 第29-31页 |
| ·过载 | 第29-30页 |
| ·满量程输出 | 第30页 |
| ·敏感结构固有频率与微梁上最大应变的关系 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 基于湿法腐蚀工艺的敏感结构设计 | 第32-45页 |
| ·单支撑梁结构仿真 | 第32-39页 |
| ·支撑梁厚度仿真 | 第32-33页 |
| ·支撑梁长度、质量块正面边长和微梁厚度仿真 | 第33-38页 |
| ·与第一种结构参数对比讨论 | 第38-39页 |
| ·双支撑梁结构仿真设计 | 第39-43页 |
| ·支撑梁长度和质量块正面边长仿真分析 | 第40-41页 |
| ·微梁厚度仿真分析 | 第41-42页 |
| ·交叉耦合系数仿真分析 | 第42-43页 |
| ·第一种结构与第三种结构各项参数对比 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第5章 加速度传感器的工艺流程 | 第45-58页 |
| ·基于深反应离子刻蚀工艺的结构工艺设计流程 | 第45-48页 |
| ·带有微梁的双支撑梁结构工艺流程设计 | 第48-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第6章 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 在学研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
