| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-11页 |
| ·压力传感器概述 | 第8页 |
| ·压力传感器特点与分类 | 第8-9页 |
| ·谐振式压力传感器的国内外发展动态 | 第9-10页 |
| ·论文主要内容 | 第10-11页 |
| 第2章 谐振式压力传感器结构设计与理论分析 | 第11-22页 |
| ·传感器结构模型设计 | 第11-12页 |
| ·对角梁振动特性分析 | 第12-14页 |
| ·对角梁热激励分析 | 第14-17页 |
| ·感压膜应力分析 | 第17-19页 |
| ·灵敏度分析 | 第19-22页 |
| 第3章 ANSYS 有限元分析 | 第22-36页 |
| ·Si_3N_4谐振梁振动特性分析 | 第23-25页 |
| ·Si_3N_4对角梁与SiO_2-Si_3N_4-SiO_2复合梁电热分析 | 第25-27页 |
| ·模态分析 | 第27-30页 |
| ·谐响应分析 | 第30-31页 |
| ·压力灵敏度分析 | 第31-36页 |
| 第4章 谐振式压力传感器加工工艺研究 | 第36-47页 |
| ·薄膜成型技术 | 第36-39页 |
| ·蒸发 | 第36页 |
| ·溅射 | 第36-37页 |
| ·氧化 | 第37-38页 |
| ·化学气相淀积 | 第38-39页 |
| ·腐蚀工艺的研究 | 第39-40页 |
| ·各向异性湿法腐蚀技术 | 第39-40页 |
| ·KOH 腐蚀工艺 | 第40页 |
| ·台阶平坦化技术 | 第40-41页 |
| ·牺牲层技术 | 第41-42页 |
| ·传感器芯片加工 | 第42-47页 |
| ·SiO_2-Si_3N_4-SiO_2复合梁谐振式压力传感器加工工艺 | 第42-44页 |
| ·Si_3N_4对角梁谐振式压力传感器加工工艺 | 第44-47页 |
| 第5章 谐振式压力传感器芯片封装技术及测试分析 | 第47-53页 |
| ·传感器芯片封装 | 第47-48页 |
| ·传感器芯片的测试分析 | 第48-53页 |
| ·开环测试技术分析 | 第48-51页 |
| ·闭环测试技术分析 | 第51-53页 |
| 第6章 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 在学研究成果 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |