| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-14页 |
| ·研究的意义 | 第8-9页 |
| ·本领域研究的发展态势 | 第9-11页 |
| ·研究内容 | 第11页 |
| ·研究方法 | 第11-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 铜线键合技术的分析 | 第14-23页 |
| ·铜线键合及工艺分析 | 第14-19页 |
| ·焊盘键合深度失效分析 | 第19页 |
| ·金属的塑性形变 | 第19-20页 |
| ·键合机理 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 第三章 实验仪器及样品制备 | 第23-32页 |
| ·设备和材料 | 第23-27页 |
| ·制样与测量 | 第27-30页 |
| ·铜线键合中金属铝焊盘键合深度 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 铜线键合中工艺金属焊盘对键合深度的影响研究 | 第32-57页 |
| ·搜寻阶段对键合深度的影响 | 第32-33页 |
| ·键合力对键合深度的影响 | 第33-34页 |
| ·键合过程中超声对键合深度的影响 | 第34-37页 |
| ·键合时序对金属焊盘键合深度的影响 | 第37-43页 |
| ·分段键合 | 第38-40页 |
| ·搜寻阶段 | 第40-41页 |
| ·第一阶段键合 | 第41-42页 |
| ·第二阶段键合 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43页 |
| ·分步键合中主要因素分析 | 第43-50页 |
| ·压力与铝焊盘键合深度的关系 | 第45-47页 |
| ·超声与铝焊盘键合深度的关系 | 第47-49页 |
| ·键合球直径与铝焊盘键合深度的关系 | 第49-50页 |
| ·实验小结 | 第50页 |
| ·部分因数实验一 | 第50-52页 |
| ·部分因数实验二 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 铜线键合中因数对金属焊盘键合深度的影响研究 | 第57-67页 |
| ·铜线对金属焊盘键合深度的影响 | 第57页 |
| ·劈刀几何尺寸对金属焊盘键合深度的影响 | 第57-60页 |
| ·加热块温度对金属焊盘键合深度的影响 | 第60-61页 |
| ·超声系统对金属焊盘键合深度的影响 | 第61-62页 |
| ·电子打火系统对金属焊盘键合深度的影响 | 第62-65页 |
| ·保护气体流量对金属焊盘键合深度的影响 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |