基于自停止腐蚀的双面梁—质量块结构加速度传感器研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 概述 | 第9-17页 |
| ·MEMS技术简介 | 第9-10页 |
| ·MEMS加速度传感器 | 第10-15页 |
| ·MEMS加速度传感器工作原理 | 第10-12页 |
| ·MEMS加速度传感器分类 | 第12-15页 |
| ·论文主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 双面梁-质量块结构三明治加速度传感器设计 | 第17-34页 |
| ·传感器结构 | 第17-18页 |
| ·传感器的简化模型分析 | 第18-22页 |
| ·传感器的频率响应 | 第22-28页 |
| ·一阶模态 | 第23页 |
| ·二阶模态 | 第23-28页 |
| ·一、二阶模态频率理论值与 Ansys结果比较 | 第28页 |
| ·传感器的热机械噪声 | 第28-29页 |
| ·传感器的阻尼 | 第29-30页 |
| ·传感器结构参数优化及有限元仿真 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 关键工艺研究 | 第34-49页 |
| ·V截面梁制作 | 第34-45页 |
| ·常见双面梁-质量块结构制作方法 | 第34-37页 |
| ·V截面梁自停止腐蚀工艺流程 | 第37-38页 |
| ·KOH腐蚀过程 | 第38-43页 |
| ·质量块侧向腐蚀及质量修正 | 第43-45页 |
| ·引线问题 | 第45-48页 |
| ·玻璃—硅—玻璃结构引线 | 第45-46页 |
| ·全硅结构引线 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 传感器制作 | 第49-55页 |
| ·传感器制作工艺流程 | 第49-53页 |
| ·工艺中的监控 | 第53-54页 |
| ·梁KOH腐蚀控制 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 传感器性能测试 | 第55-58页 |
| ·静态信号测试 | 第55-56页 |
| ·频率响应 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 总结 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 个人简历 | 第64-65页 |
